08_第八讲_扫描电子显微_090410解析.ppt

发展历史 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理 1938年，Ardenne开始进行实验研究 到1942年，Zworykin.Hill制成了第一台实验室用的扫描电镜 1963年，A.V.Grewe将研制的场发射电子源用于扫描电镜，该电子源的亮度比普通热钨丝大103-104倍，而电子束径却较小，大大提高了分辨率。将这种电子源用以扫描透射电镜，分辨率达十分之几纳米，可观察到高分子中置换的重元素 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，实验室中制成扫描透射电子显微镜已达到优于0.5nm分辨率的新水平 2.1 扫描电镜工作原理、构造和性能 1、基本原理 由电子枪发射的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描 扫描图像形成 1.由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。 2.这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。 3.由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在显像管荧光屏上就出现一个亮点。 扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序，成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。 2 扫描电镜的结构 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、偏转系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成 1）电子光学系统　　由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等部件组成。 作用是得到具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径的扫描电子束。 电子枪（发叉式） 几种类型电子枪性能比较 电子光学系统示意图 光学系统与透射电镜的区别 ※在光学系统中扫描电镜的最后一个透镜的结构有别于透射电镜，它是采用上下极靴不同孔径不对称的磁透镜，这样可以大大减小下极靴的圆孔直径，从而减少样品表面的磁场，避免磁场对二次电子轨迹的干扰，不影响对二次电子的收集。 ※ 末级透镜中要有一定的空间，用来容纳扫描线圈和消像散器。扫描线圈是扫描电镜的一个十分重要的部件，它使电子作光栅扫描，与显示系统的CRT扫描线圈由同一锯齿波发生器控制，以保证镜筒中的电子束与显示系统CRT中的电子束偏转严格同步。 ※扫描电镜的样品室要比透射电镜复杂，它能容纳大的试样，并在三维空间进行移动、倾斜和旋转 2）偏转系统 作用：使电子束产生横向偏转，包括用于形成光栅状扫描的扫描系统，以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。 ※偏转系统可以采用横向静电场，也可采用横向磁场 3）信号收集放大系统 二次电子和背反射电子收集器。 ※作用：收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大。 ※闪烁计数器是最常用的一种信号检测器，它由闪烁体、光导管、光电倍增管组成。具有低噪声、宽频带(10Hz~1MHz)、高增益(106)等特点，可用来检测二次电子、背散射电子等信号 4)显示系统 ※作用：将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像，供观察或记录 ※显示装置一般有两个显示通道：一个用来观察，另一个供记录用(照相)。在观察时为了便于调焦，采用尽可能快的扫描速度，而拍照时为了得到分辨率高的图像，要尽可能采用慢的扫描速度(多用50-100s) ※目前，仪器操作过程基本上使用软件自动控制，同时操作、观察和图像处理存取十分方便，如LEO1530,PHILIPS ESEM等 5）电源、真空系统 ※作用：为扫描电子显做镜各部分提供所需的电源。 由稳压、稳流及相应的安全保护电路组成 ※一般用分子涡轮泵 作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命等 3 扫描电镜的主要性能 1）放大倍数 　　扫描电镜的放大倍数M定义为：在显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值 　　　　　　　　　　M=l/L l--荧光屏长度；L--电子束在试样上扫过的长度这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。 2）分辨率 　　分辨本领是扫描电镜的主要性能指标之一。在理想情况下，二次电子像分辨率等于电子束斑直径 3）景深 　　扫描电镜的景深比较大，成像富有立体感，所以它特别适用于粗糙样品表面的观察和分析，如断口、原始烧结表面等 4 样品制备 　　 对导电性材料来说，除了几何尺寸和重量外几乎没有任何要求，尺寸和重量对不同