给排水工艺冷却水系统施工技术解读.pptVIP

工艺冷却水系统施工技术 侯 初 目 录 1、工艺冷却水系统简介 2、工艺冷却水系统的安装技术 3、工艺冷却水系统的调试技术 1. 工艺冷却水系统简介 1.1 冷却水 冷却水只是指将温度高的水降低温度后在进行重复利用的水。 所有的液体和固体中，水的比热容最大，是优良的热交换介质，其次水的化学稳定性好，不易分解，水的热容量大，在常温范围内不会产生明显的膨胀或压缩，水的沸点较高，在通常使用条件下，在换热器中布置汽化，水的来源较广泛，流动性好，易于输送和分配，水的处理运行费用低。 1.2 工艺冷却水 在半导体厂房中主要用于生产工艺设备的冷却,或称制程冷却水、工艺设备冷却水、简写：PCW。 2.工艺冷却水系统的安装技术 2.1 系统概况 工艺冷却水系统主要由三个环路组成： 1) 一次侧环路:高温水箱中的水由循环水泵提压，经热交换器冷却后进入低温水箱; 2) 二次侧环路:低温水箱中的水经循环水泵提压，过滤，由输水管线送到工艺设备进行热交换，交换后的高温水沿回水管线流回高温水箱； 3) 另一环路:为冷媒侧冷冻水供回水环路，经冷机制备的冷冻水经输水管路至交换器冷量交换后回到冷机侧； 4)有的工艺水冷却水系统未设低温水箱,经热