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AFM在电化学领域中的应用 一、原子力显微镜简介 2 1.1原子力显微镜的基本原理 2 1.1.1 力检测部分 2 1.1.2 位置检测部分 2 1.1.3 反馈系统 2 1.2 原子力显微镜工作模式 3 1.2.1 接触扫描成像模式 3 1.2.2 非接触扫描成像模式 3 1.2.3 轻敲扫描成像模式 4 1.3 原子力显微镜主要特点 4 二、原子力显微镜的历史和现状 5 2.1 电化学原子力显微镜 5 2.2 生物型原子力显微镜 5 2.3 液相型原子力显微镜 6 三、原子力显微镜在电化学领域中的应用 6 3.1 EC-AFM在纳米加工中的应用 6 3.2 EC-AFM在电镀、腐蚀与防腐中的应用 6 3.3 EC-AFM观察电化学沉积膜的形成和性质 7 四、原子力显微镜在电化学领域中应用展望 7 五、参考文献 8 一、原子力显微镜简介 AFM（原子力显微镜）是一种具有原子级高分辨的新型仪器，可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵；现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中，成为纳米科学研究的基本工具。 1.原子力显微镜的基本原理 在原子力显微镜的系统中，大致分成三个部分：力检测部分、位置检测部分和反馈系统。 1.1 力检测部分 在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂来检测原子与原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般100-500μm长和大约500nm-5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格，这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。 1.2 位置检测部分 在原子力显微镜（AFM）的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂cantilever摆动，所以当激光照射在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供SPM控制器作信号处理。 1.3 反馈系统 在原子力显微镜（AFM）的系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持一定的作用力。 通过对原子力显微镜的各个部分的介绍，下面通过对原子力显微镜的工作原理的介绍来了解原子力显微镜： AFM是用一端固定而另一端装有纳米级针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌的。当样品在针尖下面扫描时，同距离密切相关的针尖样品相互作用就会引起微悬臂的形变。通过检测微悬臂产生的弹性形变量?Z, 就可以根据微悬臂的弹性系数K和函数式F k·ΔZ直接求出样品针尖间相互作用。AFM利用照射在悬臂尖端的激光束的反射接收来检测微悬臂的形变。由于光杠杆作用原理，即使小于0.01nm的微悬臂形变也可在光电检测器上产生 10nm 左右的激光点位移，由此产生的电压变化对应着微悬臂的形变量，通过一定的函数变换便可得到悬臂形变量的测量值。当样品在 XY平面内扫描时 对某一点其坐标为[x,y] ，若保持样品在Z轴方向静止，且令探针的竖直初始位置为零，则可根据针尖样品相互作用与间距的关系得到样品表面的高度变化信息Δh x,y ，即样品表面任意点 x,y 相对于初始位点的高度。对样品表面进行定域扫描便可得到此区域的表面形貌A A x,y, Δh x,y 。 原子力显微镜工作模式 AFM在检测试件表面微观形貌时，通常采用三种不同的扫描成像模式：接触扫描成像模式，非接触式扫描成像模式和轻敲扫描成像模式。 接触扫描成像模式 从概念上来理解，接触模式是AFM最直接的成像模式。正如名字所描述的那样，AFM 在整个扫描成像过程之中，探针针尖始终与样品表面保持紧密的接触，而相互作用力是排斥力。扫描时，悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构，因此力的大小范围在10 - 10～10 - 6 N。若样品表面柔嫩而不能承受这样的力，便不宜选用接触模式对样品表面进行成像。 2.2 非接触扫描成像模式 非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方5~10 nm 的距离处振荡。这时，样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制，通常为10~12 N ，样品不会被破坏，而且针尖也不会被污染，特别适合于研究柔嫩物体的表面。这种操作模式的不利之处在于要在室温大气环境下实现这种模式十分困难。因为样品表面不可避免地会积聚薄薄的一层水，它会在样品与针尖之间搭起一个小小的毛细桥，将针尖与表面吸在一起，从而增加尖端对表面的压力。 2.3 轻敲扫