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干涉儀的非線性誤差校準系統與誤差分析
李岩
清華大學，精密儀器與機械學系，精密測試技術與儀器國家重點實驗室，北京100084
為了對鐳射干涉儀、高精度位移感測器等測量系統進行納米級精度的非線性誤差校準，滿
足國際比對專案的迫切需要，需進一步提高中國計量科學研究院舆清華大學合作研製的差拍法
布裹—珀羅干涉儀 （F-P干涉儀）的線性度、穩定性及測量範圍。本文在合理分析空氣折射率
變化及氦氖雷射器縱模調諧範圍等因素對測量的影響基礎上，設計並製作了密對干涉光路的真
空系統，並用調諧範圍較大的半導體雷射器作為工作雷射器。實驗表明，系統在大於1/4波長
的行程範圍内的線性度有明顯的提高，最大非線性誤差由8.93nm减小至1.19nm。系統的抗斡擾
能力得到了改善，應用範圍得到了擴展，已適用於大行程的校準與比對場合。
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