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2005’全国真空冶金与表面工程学术研讨会会议论文集
盘型分子拖动泵的研究综述
刘波L：巴德纯1钟亮’岳向吉1
f1东北大学辽宁沈阳1100042沈阳工业火学工程学院辽宁辽阳11i003)
的关键技术。最后指出采用并行处理的DSMC模拟是当前研究的发展方向。
NonCe-Car
关键词：盘型分子拖动泵CFO Io方法DSNC并行处理
OverviewofResearchof Molecular
Disk-Type DragPumps
Liu
B01一，Ba Liang],Yue
DeChun‘，ZhongXiangJil
1 Instituteof Institute
(NortheasternUniversity，Shenyang，10004，China；EngineeringShenyang
11
University，Liaoyang，1003，China)
test of
Abstract：Inthis intrduced molecular structureand DTDP,
paper，we disk-type dragpumps，describedgeometrical facility
intrduced andnumericalsimulationmethodof method，Monte-Carlo
theory DTDP：moment—equation
pumping
DSMC introducedthemainresearchmethodofDSMCinthemolecularand
Gas methodand method．We
Dynamics，CFD
this of caculationand were
transitionflow DSMC，collisional keytechnology
regions，especially．1npaper,generalprocedure
of
indicated．Atindicatedthat DSMCmethodwasthedirectionresearch．
last，we parallel
Method；DSMC；Parallel
Keywords：Disk-Type；MolecularDragPumps；CFD；Monte—Carlo
1前言 气通道内的压力场和速度场，推导出了过渡流态
下盘型分予泵抽气系数E的理论计算公式，并讨论
1944年Siegbahn…提出了盘型拖动分子泵
(DTDP)。但由于其抽速小，在长达40年的时间了影响抽气系数的因素。
内没有引起人们的充分重视。20世纪80年代初期， 6】采用CFD方法研究了单级
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