场发射扫描式显微镜SEM重点介绍.pptVIP

－JEOL　JSM-6700F－ （FE-SEM） 目录 １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．　获得怎样的图像？ ４．　图像信号 　　　　4-1　　二次电子图像（SEI） 　　　　4-2　　下方电子信号图像（LEI） 　　　　4-3　　反射电子组成图像（COMPO/TOPO） 5．　试料倾斜 6．　滤光 7．　依赖～提出的流程 JEOL　JSM-6700F JEOL　JSM-6700F １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．　获得怎样的图像？ ４．　图像信号 　　　　4-1　　二次电子图像（SEI） 　　　　4-2　　下方电子信号图像（LEI） 　　　　4-3　　反射电子组成图像（COMPO/TOPO） 5．　试料倾斜 6．　滤光 7．　依赖～提出的流程 目录 １．什么是FE-SEM？ JEOL　JSM-6700F FE-SEM　 　Field　Emission–Scanning　Electron　Microscope （场放射扫描式电子显微镜） 何为场放射（FE）？ 　　是指SEM电子枪（电子线发生源）的种类。 　　在阴极施以高电压，使其产生电子光束，加速下方 位置的第一阳极，将电子光束聚集于再下方的第二 阳极，使光束照射在观察试料上。 JEOL　JSM-6700F 目录 １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．　获得怎样的图像？ ４．　图像信号 　　　　4-1　　二次电子图像（SEI） 　　　　4-2　　下方电子信号图像（LEI） 　　　　4-3　　反射电子组成图像（COMPO/TOPO） 5．　试料倾斜 6．　滤光 7．　依赖～提出的流程 ２．什么场合下使用 JEOL　JSM-6700F ?薄膜表面观察 （细微的凹凸状况，成长状态） ?薄膜断面观察 （图形边缘形状，粒成长状态） ?异物及缺陷部位的构造观察 ?组成分布观察 ?其他分散型形状的观察 等 　　受电子光束照射易变形的，会放出气流的，及有流动性的试料 如在观察前不做特别处理是无法观察的。另外铁等磁性体块状物体 会吸住物镜，造成镜头破损，所以观察比较困难。 JEOL　JSM-6700F 目录 １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．　获得怎样的图像？ ４．　图像信号 　　　　4-1　　二次电子图像（SEI） 　　　　4-2　　下方电子信号图像（LEI） 　　　　4-3　　反射电子组成图像（COMPO/TOPO） 5．　试料倾斜 6．　滤光 7．　依赖～提出的流程 ３．得到怎样的图像？ JEOL　JSM-6700F 　　＜与光学显微镜的不同＞ 　　 　　　　■灰阶图像（白黒的图像） 　　 　　　　■凹凸、或各种组成的对比 　　 　　　　■高倍率观察，极小的区域也能清晰可见 　　 　　　　■可倾斜，可立体观察 　　 JEOL　JSM-6700F 目录 １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．　获得怎样的图像？ ４．　图像信号 　　　　4-1　　二次电子图像（SEI） 　　　　4-2　　下方电子信号图像（LEI） 　　　　4-3　　反射电子组成图像（COMPO/TOPO） 5．　试料倾斜 6．　滤光 7．　依赖～提出的流程 ４．图像信号的种类 JEOL　JSM-6700F ■SEI Secondary Electron Image （二次电子图像） ■LEI Lower Electron Image （下方电子信号图像） 　 ■BEI Backscattered Electron Image （反射电子图像） 　　　　 反射电子图像为COMPO（组成图像）与TOPO（凹凸图像） 可按需进行MODE转换。 　　　　　 4-1．二次电子图像（SEI） JEOL　JSM-6700F 二次电子图像 　 　根据照射电子束的 不同，将样品表面显 现出来的电子信号化 之后形成图像，转换 为二次电子图像，便 能清晰看到样品表面 的凹凸情况。 SP-ITO　（×50,000） 4-2．下方电子信号图像（LEI） JEOL　JSM-6700F 下方电子信号图像 　 　W.D.8mm以上时使用。 同时检出二次电子、 反射电子。适用于观察 易带电的样品。 AFM的硅制悬式探针前端　 4-3．反射电子图像（COMPO/TOPO） JEOL　JSM-6700F 反射电子组成图像（COMPO） 　观察区域的组成的差异 形成对比性的图像。 原子番号越大，形成 的图像则越清晰明亮。 反射电子凹凸图像（TOPO） 　可以通过转化二次电子 图像获取观察样品的凹凸 图像，但解析度较差。 异物的LEI（上）／COMPO像（下） JEOL　JSM-6700F 目录 １．　什么是FE-SEM？ ２．　什么场合使用？ ３．