Al_2O_3基陶瓷基片的制备及其性能_黎春阳.docxVIP

第 29卷 第 3期大 连交 通大 学 学报V o.l 29 N o. 32008年 6月JOURNA LO FDAL IANJIAOTONGUN IV ERS ITYJun. 2008文章编号:1673- 9590( 2008) 03- 0054- 04A 2l O3基陶瓷基片的制备及其性能黎春阳, 任瑞铭, 董洪亮(大连交通大学材料科学与工程学院, 辽宁 大连 116028 )*摘 要: 以高纯的 A-A l2O3为原料, 以烧滑石、碳酸钙、高岭土的形式向其中加入 M gO、CaO、S Oi2等烧结助剂, 采用凝胶注模工艺制备出 A l O 基陶瓷基片. 实验结果表明: 在烧结温度为 1 530e 时得到了密度23为 3. 7 g /cm3致密烧结体, 晶粒大小在 3~ 5Lm; 在 20~ 1 000e 范围内, 样品的热扩散率为 0. 0 668 ~ 0. 0154 cm2 / s, 其大小随着温度的升高而降低; 在 1 kH z~ 1MH z测试频率范围内, 介电常数随频率的升高先降低, 之后保持不变; 介电损耗随频率的升高先减小, 之后又增大.关键词:A l2O3; 凝胶注模; 显微结构; 物理性能中图分类号:TG 146. 21文献标识码:AStudy on Preparation and Properties of A lum ina Ceram ic SubstrateLI Chun- yang, REN Ru-im ing, DONG Hong- liang( School o fM ater ia ls Science and Eng ineer ing,D a lian Jiaotong U n iversity,Da lian 116028, Ch ina)A bstract: A l2 O3 m atrix ceram ic substrate w as prepared by ge lcasting techno logy using h ighpurity A-A l2 O3 pow der as raw m aterial andthe sinteredsteatite,ca lc ium carbonate,kaolinclay as sintering a ids.The resu lts showthat the sinteringtem perature of the g reen bod ies isbetw een 1 530eand 1 550e . The m icrostructures,therm a l andelectrica l properties o f thesintered bodies w ere stud ied by using SEMand so on. And the resu lts of exper mi ents showthat the grains arrange uniform ly and o rderly,and the pore ratio is low. The therm al d iffusiv-ity is 010 668~ 010 154 cm2 /s from 20eto 1 000e ,and reducesw ith increasing the tem pera-ture.In the range of the testing frequencies,the d ielectric constant is 9. 3~ 9. 4 andthe die-lectricloss ang le tangent is 2. 2 @ 10- 3 ~ 5. 4 @ 10- 3.The die lectric constan t firstly decreasesand then keeps constant as the frequency increases.The dielectric loss ang le tangent reducesfirstly,and thenincreases.K ey words: alum ina;gelcasting; m icrostructure; physical propertiesA l2O3陶瓷基片作为电路元件的承载体, 特别是作为混合式集成电路 ( H IC ) 和多芯片组件 (MCM ) 的承载体, 获得了高速发展. H IC 和 MCM 作为混合微电子技术的两类主要产品, 广泛应用于军事和空间 通讯、计算机、电子设备、仪器仪表、汽车、日用家电、办公自动化等各个领域.目前, 有机流延法是制备 A l2O3陶瓷基片方法最主要也是最成熟的工艺方法[ 1- 4]. 但该法