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薄膜厚度及其折射率的测量方法综述 黄丽琳 ( 楚雄师院物理与电子科学系 云南 楚雄 675000) 摘要：介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法、干涉法、V-棱镜法和透射谱线法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成，并分析了它们的特点及存在问题，指出选择测量方法和仪器应注意的问题。 关键词：椭圆偏振法；棱镜耦合法；干涉法；膜厚；折射率 中图分类号：O484．5 ，和已知，只要测得样品的和，就可求得薄膜厚度和折射率。测量样品和的方法主要有消光法和光度法。光路的形式有反射式和透射式，入射面在垂直面和水平面内两种结构。图1()是反射式消光法的一种典型结构；图1()是反射式光度法的一种典型结构。 椭偏法具有很高的测量灵敏度和精度。和的重复性精度已分别达到±0.01°和±0.02°，厚度和折射率的重复性精度可分别达到0.1和10-4,且入射角可在30°～90°内连续调节，以适应不同样品；测量时间达到量级，已用于薄膜生长过程的厚度和折射率监控。但是，由于影响测量准确度因素很多，如入射角、系统的调整状态，光学元件质量、环境噪声、样品表面状态、实际待测薄膜与数学模型的差异等都会影响测量的准确度。特别是当薄膜折射率与基底折射率相接近(如玻璃基底表面薄膜)，薄膜厚度较小和薄膜厚度及折射率范围位于(，)～(，)函数斜率较大区域时，用椭偏仪同时测