第六章 激光全息技术f（参考）.ppt

* 3. 时间平均法 多次曝光全息干涉测量技术的概念可以推广到连续曝光这一极限情况，结果得到所谓“时间平均全息干涉测量技术”。这种方法常用来研究特殊振动的物体，对周期振动物体作一次曝光。当记录的曝光时间远大于物体振动周期时，全息图上记录的是振动物体各个状态在这段时间中的平均干涉条纹。 当这些光波又重新再现出来时。它们在空间必然要相干迭加，由于物体不同点振幅不同而引起的再现波位相不同，迭加结果是再现像上必然会呈现和物体的振动状态相对应的干涉条纹、亦即产生和振动的振幅相关的干涉条纹。 * 时间平均法可用非接触方法来获得振动体的振动模，能对整个二维扩散的表面精密地测出振动的振幅。测量对象以粗糙面较为适宜，同时，可对小至晶体振子大至扩音器、乐器、涡轮机翼等进行振动分析。 * 全息干涉测量的特点 项目 优点 干涉技术 简单、光滑表面 单点或多点测量 全息干涉测量 任意形状、对表面几乎无要求 三维表面 需要全程检测过程 可仅比较起始和终了两个时刻 的状态 缺点 范围大，小于激光 范围小，仅几十um 的相干长度 全息测量的特点及与传统干涉测量的比较 * * * * * * * 三、全息干涉测量技术的应用 测量气缸内孔 (一)尺寸和形状检测 利用激光全息干涉测量技术可对近似相同的形状和尺寸进行精密比较，测量精度可达±0.1-0.5um。 * 圆柱内孔的精密测量是机械工程中的重要组成部分，例如各种活塞、液压泵、波导管等，内孔的指标是圆度和直线性。虽然圆度和直线性已有多种方法可以检测，如圆度仪等，但直接测量圆度和直线性有一定难度。 圆度仪可达0.1um的测量精度，但测量一个圆柱内孔必须测量多个截面的圆度和多条母线的直线性。特别是当圆度和直线性混在一起的时候，同时测量出来更为困难。用全息干涉方法便可以解决这一难题，图是用全息干涉方法精密测量气缸内孔的光路图。 L1 L2 L3 L4 L1 L2 L3 L1 L2 L4 L3 L1 L2 * 平行激光束照射在锥形透镜L1上。该透镜一面是平面，一面是锥面，中间有一个孔，内装凹透镜L2。测量光束通过锥形透镜Ll后发散，以掠入射的方式照射到内孔壁上形成一次反射。由于光束与气缸内壁的夹角很小，即使相当粗糙的表面仍能形成镜面反射。出射的测量光束经过透镜L3和L4使光束成圆环式照射到全息底片H上。 L4 L3 L1 L2 * 参考光束取自激光束的中心区，该部分光束经透镜L2后发散，直接穿过内孔并由透镜L3聚焦，最后经L4发散地照射到全息底片上，与测量光束发生干涉。屏S1内有一窄环，只能让镜面反射光通过，而挡住杂散光。检测时先用合格的圆孔做一张全息图作为标准，然后复位到底片架原来的位置上，在屏幕上观察是否有干涉条纹，没有干涉条纹说明复位正确。 L4 L3 L1 L2 * 4.测量发动机活塞的热变形 透镜Ll和L2组成准直系统，把细的激光 束扩展成大孔径的平行光束。分光器B把这个光束的—部分投向活塞，经活塞表面漫反射后，返回并穿过B，由视场透镜L3投射到全息底片H上，这是物光。 为正确地确定汽缸活塞的设计尺寸，提高发动机的效率，必须知道活塞受热后变形的情况。图是全息干涉测量活塞热变形的光路图。 * 穿过分束器B的另一束光经反射镜M2反射到底片上，这是参考光。物光和参考光的光程差尽量要小，在实际应用中，它小于10cm。在底片H上，物光和参考光的光强比为8:1。在这个比例下，通过视场透镜L4在观察屏E上二次曝光法和实时法都能观察到清晰的干涉条纹。 * 利用被测件在承载或应力下表面微小变化的信息，就可以判定被测件某些参量的变化，发现缺陷部位。 图是用全息干涉法检测复合材料两表面的光路图。复合材料是用特殊纤维树脂材料(硼素或碳素复合)或特殊金属胶片纤维粘接而成的，对发展燃汽轮机、航空发动机具有重要意义。检测复合材料内部的脱胶状态是十分关键的。 在图中，当叶片两面在某些区域中存在不同振型的干涉条纹时，表示这个区域的结构已遭到破坏；如果振幅本身还有差别，则表示这是可疑区域，表明这个复合材料结构是不可靠的。 (二) 缺陷检测 * 用全息干涉法检测复合材料的缺陷不仅能测量脱胶区的大小和形状，而且还可以判定深度。全息干涉法在缺陷检测方面成功例子还有：断裂力学研究中采用实时全息干涉监测裂纹的产生和发展，用于应力裂纹的早期预报；利用二次曝光采用内部真空法对充气轮胎进行检测，可以十分灵敏、可靠地检测外胎花纹面、轮胎的网线层、轮胎边缘的脱胶、缩空以及各种疏松现象。 * (三)振动的测量 振动的测量是内振动物体拍摄的全息图再现后观测的，最基本的方法是时间平均法。此方法准确度和灵敏度都很高，特别是利用三维信息来研究振动物体的振型，是振动测量从来