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原子力显微镜摘要： 光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜，每一次重要显微技术的发展，都为科学和社会的进步作出了巨大的贡献。而原子力显微镜的出现，则使得对非导电材料表面结构的测量达到了一个新的精度。本文简要地阐述了原子力显微镜的原理，并使用原子力显微镜对四种不同材料的表面结构进行了测量。关键词：原子力显微镜；表面粗糙度引言在当今的科学技术中，如何观察、测量、分析尺寸小于可见光波长的物体，是一个重要的研究方向。 扫描隧道显微镜(STM) 使人们首次能够真正实时地观察到单个原子在物体表面的排列方式和与表面电子行为有关的物理、化学性质。但STM要求样品表面能够导电，从而使得STM只能直接观察导体和半导体的表面结构。为了克服STM 的不足之处，推出了原子力显微镜(AFM)。AFM是通过探针与被测样品之间微弱的相互作用力(原子力) 来获得物质表面形貌的信息。因此，AFM除导电样品外，还能够观测非导电样品的表面结构，且不需要用导电薄膜覆盖。对比于现有的其它显微工具，原子力显微镜以其高分辨、制样简单、操作易行等特点而备受关注，并已在生命科学、材料科学等领域发挥了重大作用，极大地推动了纳米科技的发展，促使人类进入了纳米时代。实验目的1）了解原子力显微镜的工作原理。?2）?初步掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法。3.实验原理1）AFM的工作原理和工作模式（1）AFM的工作原理在AFM中用一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱的作用力(吸引或排斥力)?,引起微悬臂偏转。扫描时控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运动,?因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法)?对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,?此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整。将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三维立体形貌图像。AFM?的核心部件是力的传感器件,?包括微悬臂(Cantilever)?和固定于其一端的针尖。根据物理学原理,施加到Cantilever?末端力的表达式为F?=?KΔZ式中，ΔZ?表示针尖相对于试样间的距离,?K?为Can2tilever?的弹性系数，力的变化均可以通过Cantilever?被检测。（2）?AFM的关键部分?AFM关键部分是力敏感元件和力敏感检测装置。所以微悬臂和针尖是决定AFM灵敏度的核心。为了能够准确地反映出样品表面与针尖之间微弱的相互作用力的变化,得到更真实的样品表面形貌,提高AFM?的灵敏度,微悬臂的设计通常要求满足下述条件:?①较低的力学弹性系数,使很小的力就可以产生可观测的位移;?②较高的力学共振频率;?③高的横向刚性,针尖与样品表面的摩擦不会使它发生弯曲;?④微悬臂长度尽可能短;⑤微悬臂带有能够通过光学、电容或隧道电流方法检测其动态位移的镜子或电极;?⑥针尖尽可能尖锐。（3）AFM的工作模式AFM?有三种不同的工作模式:?接触模式(?contact?mode)?、非接触模式(noncontact?mode)?和共振模式或轻敲模式(Tapping?Mode)?。?接触模式接触模式包括恒力模式(constant2force?mode)?和恒高(constant2height?mode)?。在恒力模式中过反馈线圈调节微悬臂的偏转程度不变,从而保证样品与针尖之间的作用力恒定,当沿x?、y?方向扫描时,记录Z?方向上扫描器的移动情况来得到样品的表面轮廓形貌图像。这种模式由于可以通过改变样品的上下高度来调节针尖与样品表面之间的距离,这样样品的高度值较准确,适用于物质的表面分析。在恒高模式中,保持样品与针尖的相对高度不变,直接测量出微悬臂的偏转情况,即扫描器在z?方向上的移动情况来获得图像。这种模式对样品高度的变化较为敏感,可实现样品的快速扫描,适用于分子、原子的图像的观察。接触模式的特点是探针与样品表面紧密接触并在表面上滑动。针尖与样品之间的相互作用力是两者相接触原子间的排斥力,约为10?-?8?～10?-?11N。接触模式通常就是靠这种排斥力来获得稳定、高分辨样品表面形貌图像。但由于针尖在样品表面上滑动及样品表面与针尖的粘附力,可能使得针尖受到损害,样品产生变形,?故对不易变形的低弹性样品存在缺点。?②非接触模式?非接触模式是探针针尖始终不与样品表面接触,在样品表面上方5～20?nm?距离内扫描。针尖与样品之间的距离是通过保持微悬臂共振频率或振幅恒定来控制的。在这种模式中,样品与针尖之间的相互作用力是吸引力——范德华力。由于吸引力小于排斥力,故灵敏度比接触模式高,但分辨率比接触式低。非接触模式不适用于在液体中成像。③