08mm压电方柱超声电机的研制及应用.pdfVIP

0．8mm压电方柱超声电机的研制及应用 刘涛，路凯，周铁英，陈宇 (清华大学物理系，北京100084) 摘要：研制成功了O．8mm切角压电方柱超声微电机，并进行了稳定性讨论，有限元仿真和优化，得到了 r／rain，堵转力矩为3．5uN·m。该电机已 最优切角。当驱动电压65‰(23Vrms)时，样机的无载转速为2460 用于OCT内窥镜系统中，总体性能优于直径Imm的压电圆柱式超声电机，体现了很好的应用前景。 关键词：超声微电机； OCT内窥镜系统：有限元 1引言 近几年，随着微机械、微电子的快速发展，对微型电机的需求越来越多。由于超声电机结构 简单灵活和低速大力矩的特点，在微型电机市场中比传统电磁电机更有发展前景。 制作小直径的超声电机，弯曲振动模态超声波电机是常用的一种，2000．2003年报导的圆管 式超声电机【lq】为超声微电机的广泛应用带来了希望。但由于管式超声电机要有一定尺寸的内径， (光学相干层析成像)内窥镜样机中，得到了塑料管和葱管内部的层析成像图，分辨率微米数量 级。 X 本文介绍切角方柱微电机。该电机的截面为0．80．8mm2的正方形，对称地切去了边长 划分及侧面信号线的焊接都更容易。切角方柱体积是直径lmm的压电圆柱式超声电机的76％。 r／min，堵转力矩3．5 当驱动电压65‰(23Vrms)时，无载转速2460 pN·m。文中对电机的运 行原理和特性进行了分析计算，给出了定子端面所有点的z方向振幅空间的三维分布图。 该电机于2005年用于OCT内窥镜样机中，驱动一个光学棱镜，对生物体．鸡食道．进行了离 体的成像。图像的纵向分辨率为25prn，横向分辨率为30“m。 2结构与原理 · 在O．8×O．8×4mm3压电陶瓷方柱侧面均匀镀上银电极，然 后对称地沿轴向切去了边长0．15mm的四个方角，再按图1方 式加高压直流电(2000V／mm)极化。相对的两个电极通入高压直 流电，另两个相对的电极接地。极化后，该陶瓷柱就具有了特 殊方向的压电效应。工作时在四份电极上分别加sinaJt、COSWt、 ．sin oJt、．COS(or四路交流电信号，就可激励该压电方柱产生所 需的弯曲摇头振动。交换任意两相交流电的相位，可以改变电 图1极化方式示意图 机的旋转方向。 ．．193．． 2．1稳定性讨论 文献[5】已经证明，对正方形截面的方柱来说，以过中心的任意方向的x或Y轴弯曲时，其各 方向惯性矩相等，惯性积为零。 又由于正方形的四个切角对称，所以仍有L=‘，勺=0，根据厶=芸√若可知各个方向的 弯曲频率一致，又由上：一要可得沿不同方向的弯曲挠度也是一致的，所以振动是稳定的。 El px y 2．2有限元仿真与结构优化 利用有限元软件，得到切角方柱截平面极化电场的分布，也就是极化方向的分布，如图2(a)。 图2(a)平面内极化电场分布 图2(b)一阶弯曲模态 通过对此平面单元的拉伸，并且对各个单元建立单元局部坐标系，建立极化方向与电场方向 一致的三维方柱有限元模型。计算得一阶弯曲模态为111．7kHz，如图2(b)。 r2 r2 _ {： 机电耦合系数略高。 通过对此模型进行谐响应分析，得到切角方柱端面质点运动轨迹，并验证了椭圆运动轨迹方 ．．2 ．．2 程丢+——上b—百=1，其中z方向振幅与到中心点的距离R成正比。将定子端面所有点的z 旷(尺sin∥)‘+旷 方向振幅用Matlab作出空间三维分布图，可以清楚地看到其与R正比，如图3。实际极化过程中， 切角过小，极化时容易击穿，所以不能加过高电压，这导致极化不充分。为了优化得到最合适的 切角，首先使用厚度均匀的环形压电片进行了极化实验，得到了压电常数d33随极化电压的变化， 如图4。