245GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究.pdfVIP

2．45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究 曹焕丽廖斌朱守正 (华东师范人学信息学院电子系，上海200062) 摘要：本文利用平面微带螺旋电感的等效t乜路对245GHz频率进行建模分析．并柱此基础1．对Je模型进行优化 设计，以期得到更高的品质因数Q值，这种I乜感主要用作低骶小功率微波等离了体源。研究表明．彬响lU感品 质㈧数的参数有电感线蹦的匝数N，微带线的宽度．ⅡI!间距等，奉文对这些参数取小I叫的数值进行比较，获樽 较理想的I岛_口值韵电感线嘲尺寸。 关键词：平面礅带螺旋l乜感，品质因数9．微波等离了体 Abstract：A coilwhichis at245GIIzisintroduced．andits circuitlmodel planarmicrostripspiral operated equivalent wouldbe is tothcmodelthe coil and factor spiral designed higher Q analyzedAccording optimized，andquality would This ofinductanceis usedtoexcite resultsshow beobtainedkind mainly low·pressurelow-powerplasma．The number line thatthe factorisaffectedOB ofturns．width and betweenturnsandsoon ofmicmstrip quatily space factor Key 0·microwaveplasma words：planarmicrostripspiralcoil·quality 一、引言 ‘ 基于MEMS：r艺的快速发展．研制小型化的微波等离子体源成为可能。由于电容激发等离 子体源很容易产生电极污染，而电感激发等离子体源不仅没有电极污染，而且使刚寿命长；山 于电感激发源使其南艄电场和等离子体的边界相切，这种特性瓣识大大地减小了等离子体腔 的磁场辐射，而且提高了功率源的效率。由丁电感激发等离子体源的种种优点，它被J泛麻川 在微波等离子体：I：艺，馓机械处理的工艺和其他多个方面。 二、理论基础 平面微带螺旋电感是用微带线旋转形成，终端配以调谐调配电容，构成高Q微波等离子体 激发源，本文以此结构的儿何模型，等效电路，以及等效电感，电阻的计算为基础进行建模， 以得到更高地无载品质因数旦，照终得到理想的IU感尺寸，为电感的设计提供一个便捷有效的 方法。 1．平面螺旋微带电感的等效电路 如图一所示，平面螺旋微带电感激发源是HJ良导体微带线旋转而成，接口是输入阻抗为50n 的射频输入。图二表示此源的等效电路。 豳一：电感线凰几何图形 圈二：电感线困的等效电路 图一中微带线的宽度为W，匝问的距离为S，每匝的半径为b．t把他们等效为同心倒。和线圈 串联再和电 相连豹是调谐、调配电容，即图二中的Cr，CI。电感线圈等效为电感‘和}b阻 基金项目：国家自然科学基金资助项目(批准号 222 容c