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如何稳定浮法在线镀膜玻璃的生产.pdf

如何稳定浮法在线镀膜玻璃的生产 张鉴 丁光伟 黄云峰 (洛玻集团龙吴公司洛阳市471009) 摘要:浮法镀膜厂在线镀膜产品采用化学气相沉积法。利用锡槽尾端特定的气氛和温度,以氮气为载体, 乙烯给出碳氢化合物,采用硅烷热分解反映,在玻璃表面镀上一层硅化物膜。通过控制硅化物层的厚度,可以得 到不同性能的产品。自安装设备开始本人一直参与在线镀膜生产,积累了一些经验,本文谈谈工作体会。 关键词:在线镀膜 反应器 稳定 附加值 1、引言:浮法镀膜厂2002年为了提高玻璃产品附加值,安装了在线镀膜设备,批量生产出优 等品F绿镀膜玻璃,这一新产品远销国内外,成为公司新的利润增长点。随着用户对大规格镀膜 玻璃需求量的增大,不同反应器的使用和生产中反应气体流量的调整对稳定板面质量尤为重要。 2、在线化学气相沉积法镀膜的基本原理:利用锡槽尾端特定的气氛和温度,以氮气 为载体,乙烯为电子给出碳氢化合物,采用硅烷(SiH4)热分解反应,在玻璃板表面镀上一层硅 膜。它属于热反射玻璃的一种,通过控制硅膜层的厚度,可以得到不同性能的产品。影响其质量 的因素有:反应气体的浓度和流量,反应器底面与玻璃板的间距,玻璃表面及沉积区的空间温度。 反应副产物及未反应物的排出速度,玻璃板的拉引速度等。 3、在线镀膜对锡槽的工况要求高,在新建或冷修施工中必须加以重视: (1)镀膜反应气体硅烷的分解反应温度要求在650。C左右,温度过高或过低都会影响硅膜层的附 着,故要根据自己浮法线的实际生产能力选好镀膜设备在锡槽(胸墙开孔)位置。 (2)槽体的密封性要好,尾端槽内压力要求15Pa左右。 (3)氮氢保护气体的质量要稳定,流量波动小,在槽内分配合理。 (4)顶盖砖的安装要求高。因反应器低面距离玻璃板只有2—4咖,故如有杂物掉落板上,则容易 卡在板上造成划伤,因此顶盖砖最好选用硅线石耐火砖。对使用耐火钢筋混凝土项盖的锡槽,要 求顶盖砖之间的胀缝合理,下表面(工作面)平整,砖与砖之间的填缝捣打料密实。 4、膜前的准备工作及注意事项: (1)根据所需镀膜玻璃的品种规格及透过率要求,安排好生产计划,时间应选择在浮法玻璃生 产最稳定的时候。 (2)对镀膜机组和管道进行认真检查和清洗。 (3)最好在镀膜前吹扫锡槽。 (4)合理安排生产人员。特别是检验人员,应快速测出板面质量和透过率大小,以便及时调整, 避免产量损失。 5、镀膜生产中的注意事项: (1)由于双梁车的反映器进入锡槽后,其冷却水管对槽内的降温作用大,因此必须与锡槽浮法 工联系好,及时抽穿水包,避免槽内温度波动大,出口温度低,造成断板事故。 (2)反应器应在槽内预热稳定10小时以上。 (3)镀膜过程中应保证反应气流量、槽内温度的稳定,加强槽体密封,尽量避免抽穿水包和操 作门。 (4)注意观察废气排出情况,及时调整排气负压和反应器高度,避免因废气未及时排出而在反 应器下沉积,造成板面污染和划伤。 6、常见的镀膜质量问题及解决方法: (1)针孔 针孔是指玻璃板面上膜层的针尖大小的透光点,一般在板面上呈不规则的分布。出现针孔 的原因是槽内气氛不好,玻璃在进入反应器是时板面上存在光畸变点等缺陷,或者是反应器中游、 下游表面结灰过多,使反应腔内反应气体分布不均造成。解决方法:加强槽体密封,检查保护气 体质量,适当提高氢气量,必要时吹扫锡槽。镀膜时间严格按照操作规程每两个小时抽出反应器 进行清扫,以保证反应腔气流稳定。 (2)划伤 划伤是指玻璃板上有又细又深的划痕,产生的主要原因是顶盖砖填缝料等硬物掉落在板上, 卡在反应器与玻璃之间;未反应完全的硅烷气体和反应排出物聚集在反应器下游底面,生产一段 时间后,凝聚物越来越多,逐渐接触到玻璃板面。解决方法:经常观察板面质量,为了节省时间 可在过渡辊台与退火窑之间的敞开部观察。遇到划伤后,适当提高反应器高度。 (3)色差大 色差大是指同一块玻璃板膜层厚度不一样,造成透光率不同,存在明显的颜色深浅不一。 解决方法:检查锡槽两侧反应器的流量是否平衡,清扫反应器。 7、现阶段在线镀膜生产还有不足和逐步完善的地方:如: (1)如果在退火窑A区安装在线镀膜透过率测试仪,就能够在线测出玻璃板各部位透过率,从 而方便及时地调控镀膜生产。 (2)建议在锡槽出口端安装诱导式扒渣机,这样反应废气在锡液上形成的污物就能较好的解决。 【作者简介】张鉴,工程师,现任洛玻集团龙吴公司浮法厂技术员,2005年参与龙吴项

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