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空气动力测控技术五届狄测控学术交流会论文集 如何设计与制作近似理想的激波压力传感器 单希壮范思琼 (中国科学院力学研究所，北京市海淀区北凹环西路15号100190) (秦争岛lH北戴河兰德科技有限责任公司) 墙要‰完奎反＆跌＆女自敷的压女*意8是{存在的，但是压女传感g的自应月应尽T能短*感 §的±目目BT％《和Ⅱ冲尽i＆m是传意#制作者追求的目#，但其％襄一致{R人鼋本‘从原m ±分析T镕n±升W目和直p过冲∞■能H 关键目激波Ⅱ力传惑器i井目m 引言 能完全反应阶跃压力函数的压力传感器足不存在的，即P升时间f(nsc血c)和过冲比(ova shot咖)皆为零。但是，能近似反应阶跃函数的气动压力是存存的．它就是气动激波管在Ⅳ廷所 提供的澈波压力。r升日十删f与激波厚度△的关系足 A f=÷兰(MC是激被速度、c是气体的声速) m A。10丑Ⅲ(^足气体分子运动的自由程(e睇path)) 可见t值永小为零。在P2区窀气为一个大气压．破膜压力为4-5个大气压时，激波的【．升时间小于 2ns。至々为止，此类维应力型的辙波，K力竹感器h升时间最快的为032衅是最近在中困研制成功． 也是我们在中科院力学所肪绎十年奋斗研究成粜的继承，于1980年装中科院颁发的科技二等奖。蛙 近，我们设计的新品指标预计t将小于02雌。这样一个尺寸适度，纯结构型的非同志式的压力传惑 器瞬忐反应速度竟如此之快(200us)预计往国防建设领域能有多方而的各种应用。 图一——四是我们存八十年代付诸应用的各种记录供学界参考。 罔一、KL-1f=04／O过冲=5％n振频率剐呻h 目二：．CO，脉冲激光军焦≈气击穿空气时的压力棱*，上升前沿1ps全过程08,us 363 卒气动力测控技术五届二次测控学术交流台论文集 ＼』一 圉一、毫礅秒压力传感器(PVOF敏感元件)上升前#j宅5，描 圉叫、茈匣射撖波压力波形l升时问约为75琊．此时城厝接近光反射。 75，醇代表激波前沿的走时。 撒波压力传感器无一例外thl}rJ面图血组成，其中包青：石英雎电品片、传雎盖片、支撑摊杆、 电极引线、密封外壳所组成。但是，不同f家牛产卅束的产品忖!能指标却差别很大。国外名牌』家 r州时间最快的达到0 波系和振型的基础理论与各{{|：件的瞬时运动罔像缺乏细致的了解，为此笔者在术立r1-再次陈述。望 批评指正。 目i、撇渡＆力传感器典型结构玎、崽目 2、 过坤的来源 石英品片作为压力敏感元件本身且有质量．其前端还附加啭压盖片，总计质量为m。气动融 波压力加载在传感器端l自】时激波加载应力等于P5。 只=pc，v‘p硅晶片与盖片的、#均密度，如娃晶H的声速，Y是晶H受压应蹙时的瞬时速度· 过冲的波彤应姓个脉冲型的6函数。 二=a(a为被感元件的加谜度) f 所“岛*吨‰=m≯去=焘 空气动力测控技术丘屑二次目0控学术交流会论文集 △值与P2气体静压相关。可见过冲的产生是必然的，足不可避免的，减小过冲的唯一方法是减薄 酣片的厚度和传压盏片和顶瑞压力{尊膜的质邂。 影响压力传感器的L引时间的各种因隶 众所周知，r引时间t是指压力传感器瞬悫反戍速度的大小．它柑麻黄传感器自振频率的倒敦。 1 1 20 因此-自振额串的最高端的谐振峰，2嘉，若7 32芦，则／4赢-但是，除去频i}}中最 高端j；￡存在者中端和低端的谐振峰。其综台混成则构成压力平台l不同形状的波峰与波谷。一H性 能优良压力传感嚣是尽可能抑制枉压力甲台最前端几l微秒内产生的波峰和波符所形成的“噪声”。 这些被峰和波爷的产生胤网是传感器内各分层介质的声阻抗足胥p‘配有着帽应的)乏系。这就