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浅析玻璃膜层的形成及其价值 郭明王秀丽 (洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司洛阳市471003) 摘要：通过试验数据和理论分析，详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面，形成均匀的膜层及其 价值。 关键词：磁控溅射膜层沉积镀膜玻璃价值 1、前言： 磁控溅射镀膜玻璃从上世纪80年代进入国内建筑玻璃市场以来，已经有30多年了。国内弓I 进镀膜玻璃生产线40多条，自主设计、制造小型连续生产线200多条。有很多科研院所和镀膜 玻璃设备制造厂家，以及镀膜玻璃生产一线的技术人员，都从不同层次、不同角度、不同需求， 对镀膜玻璃生产的工艺、技术、控制等等各方面不断地进行研究和探索。 有很多资料和教材都详细地论述过离线真空磁控溅射镀膜工艺的机理，但都很抽象，很深奥， 而膜层在玻璃上的沉积状况，即溅射粒子是以一条线的形式，还是以一个面的形式沉积到玻璃 上?或者说玻璃不是在靶下匀速地运动，而是停留在靶下面，结果会怎样?为什么同样的靶体， 同样的生产参数，选用不同位置的靶体进行生产，玻璃颜色就有轻微不同?为什么同样的靶体， 更换安装位置前后生产出的玻璃颜色，始终无法调整到一致?对于这些问题却没有一份资料或教 材论述过。本文试图填补这一空白。 2磁控溅射的工艺原理 在充入少量工艺气体的真空室内，当极间电压很小时，只有少量离子和电子存在，电流密度 动，能量增加，与电极或中性气体原子相碰撞，产生更多的带电离子，直至电流达到10一6k／cm2 数量极；当电压再增加时，则会产生负阻效应，即“雪崩”现象。此时离子轰击阴极，击出阴极 原子和二次电子，二次电子与中性原子碰撞，产生更多离子，此离子再轰击阴极，又产生二次电 子，周而复始。当电流密度达到0．01A／cm2数量级左右时，电流将随电压的增加而增加，形成高 密度等离子体的异常辉光放电，高能量的离子轰击阴极(靶材)产生溅射现象。溅射出来的高能 量靶材粒子沉积到阳极(玻璃毛坯)上，从而达到镀膜的目的。 在磁场的作用下，电子在向阳极运动的过程中．作螺旋运动，束缚和延长了电子的运动轨迹， 从而提高了电子对工艺气体的电离几率，有效地利用了电子的能量，因而在形成高密度等离子体 2ll 的异常辉光放电中，正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。同时受正交电磁场的束缚， 电子只有在其能量消耗殆尽时才能落在玻璃毛坯上，从而使磁控溅射具有高速、低温的优点。 3膜层在玻璃表面的形成 3．1镀膜窒结构图 图1镀膜室结构图 该设备为原美国爱柯公司生产的一室三级镀膜玻璃生产线，一室表示只有一个镀 膜室，三级表示有三个靶位。真空抽气系统在镀膜室的两端，各有4台扩散泵，与靶材 102mm，宽也是2343衄、，用来传输玻璃和抽气。 3．2镀膜工艺条件 试验使用的是工作仅一周的新不锈钢宽平靶，靶材宽度为332mm，工艺气体为 标起是为了防止边缘效应)，第一个点定为1点位置，l点与2点正中间定为1．5点位置， 点与点之间的标法依此类推，共有23个点，660mm长。将玻璃送到1#靶位的不锈钢靶下， 13点位置对应靶体中央，保持玻璃静止不动。 3．3膜层在玻璃上的形成 率提升过程，此时工艺气体氩气流量为322sccm左右，断电后送出玻璃。 从下片台辊道上观察玻璃面： 6点位置至19．7点位置呈银白色，13点位置最亮， 19．7点位置明显有条黑线，两边颜色分明，20点位置以后呈玻璃本色，17．5点位置往 中心区域颜色渐白，3点位置至6点位置之间呈黑带状，中间浓，两边淡，3点位置往边 部区域颜色呈淡黑色，基本是玻璃本色。 从下片台辊道上观察膜面：7点位置至19．5点位置呈银白色，7点位置以前区域 星黑雾状，19．5点位置至20点位置之间明显有条黑线，20点位置以后基本呈玻璃本色． 测量数据和图形如下： 212 玻璃膜面测量数据表 位置 透过率(％) 亮度值L． 1点 75 36．32 2点