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探针扫描法快速测量半导体激光阵列Smile效应.pdf
第44卷第12期 红外与激光工程 2015年12月
Vol.44No.12 InfraredandLaserEngineering Dec.2015
探针扫描法快速测量半导体激光阵列Smile效应
贾冠男，尧 舜，潘 飞，高祥宇，王智勇
(北京工业大学激光工程研究院，北京100124)
摘 要：为克服传统光学方法测量半导体激光阵列 (LDA)Smile效应时存在的光学系统搭建精度要
求高、测试人员素质要求高、后期数据处理繁杂测量时间长等缺点，通过用机械接触式台阶仪的探针
扫描焊接后LDA 芯片N 面的方式，快速测量LDA 的Smile 效应，并将之与传统光学方法测量的
Smile效应进行对比。结果表明，两者形态完全一致，差别小于1 μm。用台阶仪测量LDASmile 效应
耗时小于 1min。此方法能为芯片焊接工艺优化Smile效应提供快速反馈，可方便集成在大批量生产
流水线中对LDA 的Smile效应进行实时监测。
关键词：激光器； 半导体激光阵列； Smile效应； 光束质量
中图分类号：TN248.4 文献标志码：A 文章编号：1007-2276(2015)12-3576-04
Smileeffectoflaserdiodearraysmeasuredbystylusscanmethod
JiaGuannan,YaoShun,PanFei,GaoXiangyu,WangZhiyong
(InsttuteofLaserEngneerng,BejngUnverstyofTechnoogy,Bejng 0024,Chna)
Abstract: Traditionalopticalmethodswhichareusedtomeasure the Smileeffectoflaserdiodearrays
(LDA)haveproblemssuchashighprecisionopticalsystemsettingup,highoperatorqualityrequirements,
vast and complex subsequent data processing, long measuring time and so on. In this paper, a new
methodthatscannedthe N sideofmountedLDAchipswiththestylusofamechanicalcontactingprofiler
wasproposedtomeasuretheSmileeffectofLDAquickly.Themeasuringresultwascomparedwiththe
Smileeffectmeasuredbyatraditionalopticalmethod.Andthecomparisionindicatesthattheirshapesare
uniform and the difference is less than 1 micrometre. Using a profiler to measure the Smile effect of
LDA takes little time less than 1 minute. The method can provide feedbacks quickly in chips bonding
processtominimizethe Smileeffect,andcanbe easilyintegratedintohighproduction linestomonitor
theSmileeffectoflaserdiodearraysinrealtime.
Keywords: lasers; laserdiodearray; Smileeffect; beamquality
收稿日期：20 5 04 07； 修订日期：205 05 3
基金项目：北京市委组织部优秀人才培养计划(202D005
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