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第 37 卷第 5 期 2008 年 5 月 光子学报 Vol. 37 No.5 May 2008 ACT A PHOTONICA SINICA 扫描式超高速摄影中转镜镜面变形量的几何补偿骨 黄虹宾l ，柴金龙1 ，龚向东 2 ，李景镇2 ，孙凤山 3 ，何铁锋2 (1深圳大学机电与控制工程学院，广东深圳 518060) (2 深圳大学电子科学与技术学院，广东深圳 518060) (3 中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 710119) 摘 要 z 利用三维有限元计算技术，分析了从三面体到八面体铝合金转镜镜面变形规律.发现以四 面体为界，三面体转镜镜面变形为向内四进，五面体及以上转镜镜面则向外凸出.在对镜面变形定 量分析基础上，提出了镜面变形的几何补偿方法，即采用柱面代替平直镜面，使镜面变形后的位直 趋近于平直.结果表明，对镜面尺寸 17.32 mm，轴向长度 32.5 mm 的三面体铝合金转镜，在 5X 104 rpm 下，镜面最高点偏离平直镜面的最大值为 0.468μm，是平直镜面的 1月，与相同结构尺寸的 钦转镜镜面变形量处于相同量级.说明铝合金转镜采用几何补偿方法，可以在扫描式摄影系统中 代替钦转镜. 关键词 z扫描式超高速摄影;转镜镜面;几何补偿;有限元方法 中图分类号 :TB872 文献标识码 :A 。 引言 转镜既是超高速摄影系统中一个关键的运动部 件，又是整个光学系统中不可缺少的组成部分.作 为运动部件，其强度和刚度构成影响转镜性能乃至 整个摄影系统性能和可靠性的主要因素.高强度的 转镜能保证在高速旋转下不因惯性力而产生塑性变 形，而良好的刚性则能使转镜镜面的变形量较小，保 证镜面有足够高的平面度.镜面变形相当于在光学 系统中附加了一个像差未经投正的光学元件，改变 了物像的共辄关系[1-2]. 在分幅式摄影系统中，中间 像成在转镜镜面附近，镜面变形后相当于一个场镜， 对像质的影响较小.但在扫描式系统中，镜面变形 不但影响像质，还影响系统时间分辨率[叫.发光物 体由物镜成像在狭缝平面内，再由第二物镜和转镜 镜面将其转移到成像介质上.当转镜高速旋转时， 镜面因惯性力产生变形，由原来的平面变成抛物柱 面[叫]，使进入弧矢面的光束产生另一个共辄焦点， 产生的像散现象会使狭缝像加宽，时间分辨率降低. 本文利用三维弹性力学基本方程和有限元分析 技术，以铝合金材料的转镜为例.探讨了 3-8 面体 转镜的镜面变形规律，并在此基础上，采用预变形结 构，即根据转镜镜面变形量分布，将镜面设计成与变 形量相反的结构，使镜面在高速运转中因体力作用 而趋于平直，消除了镜面变形对像质和时间分辨率 ·深圳大学科研启动基金(200504) 资助 Tel:0755-EmaiI: huanghb@szu. edu. cn 收稿日期，2006-12- 12 文章编号 :1004-4213(2008)05-1015-5 的影响. 1 镜面变形规律 对三面体到八面体铝合金转镜镜面的变形规律 进行了数值分析.利用有限元方法来模拟转镜的力 学性能已经过验证[7-SJ .所有转镜镜面横向尺寸 10 mm，轴向长 32.5 mm，中心孔直径 5 mm. 转镜 材料为铝合金，其弹性模量 7.259 3 X 109 Pa，泊松 比 0.3 ，密度 2 700 kg/m3 ? 转速 5 X 104 rpm/min. 镜面变形计算结果如图 1-3，图中数据来自平行于 x-y 平面、且位于转镜最底部的镜面，纵轴垂直于 该镜面并指向上方.图中曲线表明，三面体转镜垂 直轴线截面的镜面变形后呈内凹形态;四面体则呈 现马鞍状，具有从内凹到外凸的过渡性;从五面体 开始，镜面变形均呈外凸形态，并且随着镜面数增 加，变形后的镜面逐渐趋近于圆柱面.从计算结果 还发现一个现象，即镜面变形受到轴孔的影响.轴 孔直径与转镜外接圆直径的比值越大，镜面变形后 的形状越复杂. E Qa 7571484 2 g 当昆帽 4.308 百5z 2872 5占 1.436 。 / 。 / \ / 飞 / 1\ / \ I气 / \ / 气/ \ 2 4 6 8 10 Mirror surface widthJmm (创Lateral deformation ofωn能r cut 37 卷 6.388 1- 产吃 v / \ 手飞 民 / f 1I 1-..... / -1.478 -1.488 -1.498 报 E C ξ U z - - E M E E g 百 E n 唱 占 学子光 / 飞飞 / \ v / 飞 / 1 才 问 1016 Q O A U 匀 M · E · 呵 ， ， 句 、 d ， ， 。 。