离子注入机大行程垂直扫描系统的研制.pdfVIP

第 1 期 2ω8 年 2 月 微细加工技术 MICROFABRICATION TECHNOLOGY 胁 .1 Feb. ， 2∞8 文章编号 :1∞3-8213(2008)01帽0011-03 离子注入机大行程垂直扫描系统的研制 肖仁耀，许波涛 (中国电子科技集朋公词第四十八研究所，长沙 41011 1) 摘襄:采用公j_扫描系统是离子试入机最常用的扫描方式之一，着重阐述了一种大行根垂直扫描系 统的革统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明，该系统提高了离子注入机机械扫描的 可靠性和稳定性。 关键诩:垂直扫描;气浮轴承;提压抽气;直线电机 中团分类号:TN305.3 文献标识码:日 1 号|富 在离子惨艇工艺中，离子注入机仍然是应用最 广泛的设备，实际应用中，为使掺杂离子能均匀分布 在整个硅片上，使硅片上各部位的电路元件都得到 相同程度的离子注入，离子注入设备通常需要采用 一定的扫描方式。 随着半导体制造工艺特征尺寸进入 0.18μm 以 下，晶片尺寸不断增加，对半导体制造设备的工艺处 理能力和一些关键指标提出了更高的要求，采用垂 直机械扫描的单晶片离子注入技术可以更精确的控 制离子注入角度，也可以较容易地实现大角度离子 住人。目前，该技术的应用从中束流离子技人机，逐 渐扩展到大束流和高能最投入机中。 针对这种情况，研制出一套具有自主知识产权 的新型大行程垂直扫描系统，用于中束流大角度注 入机靶室终端(end station) ，以实现平稳、快速的垂 直扫描。此外，该系统的研制还可以增加商子技人 机设计的灵活性，提升自主设备竞争力。 2 大行程垂直扫描远动的实现 实现真空腔体中晶片敢载机胸的机械扫描有不 同的方式，比校常用的是精橱丝杆驱动以及高刚度 收稿日期 :2佣7-11-30;修订日期 :2∞7-12嗣06 气浮轴承驱动。由于后者精度商、噪音低、寿命长， 阴此在精带旋转和直线运动的设计中得到越来越广 泛的使用。 在国内，已有厂商将气浮轴承应用到精宿加工 机床等方闹，目前还没有应用到离子技人机的报道， 其主要原因在于很多半导体设备(如离子注入机)的 工艺处理腔烹需要错闭的高真空环境，而普通气浮 轴草无法使用到真空环境中，导致在该领域吨俘轴 承的使用受到很大的限制。通过改进，设计了…种 可用于真空腔体的气悍轴承，采用直线电机作为驱 功机构，组成睡直扫描系统，经使用证明，该系统可 大大提南离子技人机机械扫描的可靠性和稳定性。 2.1 系统总体构成 该系统需要实现的基本功能是:将晶片支撑台 安装在支撑法兰上，在密闭真空腔体中实现大行程 垂直扫描运动。总的设计原理如阁 1 所示。 依据系统需要实现的主要功能，具体指标细 分为: 1 、气浮轴承~轴在垂直方向往返运动(扫描) , 有效行程运400 mm; 2、气浮轴承气压 :6.2 x 1f Pa 叫 6.9xlf Pa; 3 、主轴运动需要的加速度最大 1 g; 4、整压密闭怯兰出口真空度要求: 1. 33 x 10- 4 Pa，在法兰轴座端面留有真空测量口和抽气口; 作者简介:肖仁耀 (1968-) ，男，湖南邵阳人，高级工程师，主要从事离子班人机等半导体工艺设备的研究;许惊涛 ( 1978 四) ，男，湖::it应城人，工程师，主要从事离子注入机等半导体工艺设备的研究。 12 微细加工技术 2∞8 年 支撑法兰 真安腔体赞 密附法兰笼底抽气口 因 1 设计原理闺 扫描时，安装在支撑法兰上晶片承载台(闺中来 画出)和气洋轴承主轴一起作垂直方向的往返运动， 直线电机是驱动执行机构。 2.2 真空中气浮抽承的设计 气、浮轴承(由r bearing)又称空气轴承，是采用空 气作为润滑介质的一种新型铀承，压缩空气在主辅 和轴王军间形成气牒，在运动中二者脱离接触，以减小 摩擦，它的主要特点是承载精度商、功娓低和寿 命长。 将气浮铀承引人到大角度离子注人机垂直扫描 系统，对于提高系统的可靠性和运动精度有很好的 作用。但是设计中又不能照搬现有的气滞轴承模 式，罔内也没有相似的研制案例。针对这种情况，在 分析当前静压气部轴族的革本原理和结构特征的基 础上，结合真贯中整压抽气的原理，作了如下改进: 2.2.1 改进气浮区域的设计 由于主轴比一般的气浮轴承的截困积大很多， 为减轻自重问时方便管线连接，采用了高刚度空心 主轴，加大了气浮区域，并将气浮区域设计为两个气 撑带，进→步提高了运动的稳定性。在气浮间隙设 计上，气浮主轴的总体负荷的为 450 N ，理论上 15μm的气膜厚度就足够了，但是为了尽量减少气浮 区城对系统真空的影响，设计时要求气膜厚度控制 在10μm左右(参见困 2) 。 除此之外，主轴的刚性和表面粗糙度在设计中 也必须考虑。经过查阅大量气浮轴承的相关资料， 综合考虑