表面外延生长初期的分形现象及数值模拟.pdfVIP

??33????5?? 哈尔滨工业大学学报 ?，? ? 5 2 ??阬 0?? JOURNAL ? ???Ⅱ???? ? 7IECHNOLOGY ?【． ? ? 表面外延生长初期的分形现象及数值模拟 赵海发，张健之，金恩培 ???豕ひ荡笱Ю硌г河τ梦锢硐担?诹???????? 摘要：利用“沉积一扩散一凝聚”模型，模拟研究了在分子柬外延生长中粒子沉积、表面扩散、粒子凝聚以 及成棱生长不同过程对生长形貌的影响．结果表明，在表面外延生长初期沉积层呈现出非常丰富的分彤几 何特征，通过控制生长参数．可以得到不同徽结构的团簇．分析得出最大岛密度与沉积／扩散速率比的标度 指数为??．此结果与文献中的理论分析结果一致． 关键词：分子柬外延；分形；标度指数 ????????????0484??1????????????A ??????????0067??34(2001)??????13-?? Fr??tal??? and ????? ?Ⅱ? ??锄??? molecular-be??epitaxy ?? Hai-fa??ZHANCjian-zhi??JIN??? (Depl??0f?础? Php????HBrhin?蝣逭???‰?В瓾?蒼 15000l??ch????) Ah??act??By???絜 gmwth ?? for molecular-be????epitaxyin??e??锄????絜 ??? ? different gmwth pBralneterB ? the ?評??癵 mmphologies ? inVe??gated? ?????“????．? iB??wn????t? ?? ?“? sta??0fgr??wtIl??them??h010????ple??nt??pIe??acblshape and ? c????omngg??????wIll?阻???“ ? ???? ? ob????nn??o??dusferswit}l di??bmn??stn??c??u??s????lem??iI??umdensity ? isl??ds? ihe ??鱪? layer decre??e8? a ????? ?? ?? ?? 0f??e??騃 inten??j??t0??e?曲酊? ??瑆?? ? ? ag??er??m ?? the ????? ???． Key ???簉呻??? ?啪印?鐇?籪???籅??? ???? 分子束外延薄膜生长技术是电子器件制造中 响成为可能，而现代数值分析方法的发展则为在 非常重要的基本技术．在二维基底表面晶格上的 理论上对外延生长机理的研究提供了条件．实验 外延生长过程涉及粒子的沉积、表面扩散、凝聚和 发现?在外延生长初期，外延生长层呈现出分形 岛的聚合等不同的生长过程．由于这些过程的复 特征．为理解这一现象的物理基础，人们相继提 杂性及外延薄膜质量强烈地依赖于生长体系和生 ??????????????????????????????(ccA)???????? 长的外部条件，要达到对外延薄