微细盘状电极制备及其微细电解加工研究.pdfVIP

工艺 ·装备 《电加工与模具~2o15年第2期 微细盘状电极制备及其微细电解加工研究 何志伟 ，王明环 ，张 力，许雪峰 (浙江工业大学特种装备制造及先进加工技术教育部重点实验室，浙江杭州 310014) 摘要：基于电化学腐蚀加工方法，提 出了一种微细盘状 电极 的制备方法。先采用平板 阴极 电化 学腐蚀法，将毛坯加工成 圆柱状微细电极 ，再对 圆柱 电极端部进行绝缘保护，进一步腐蚀制备得到 微细盘状电极。利用微细圆柱电极、盘状 电极和盘状群电极 ，在厚 1mm的 304不锈钢 片上进行电 解加工对 比实验 ，结果证 明采用微细盘状 电极 电解加工微小孔，其加工定域性有明显改善，侧壁间 隙减小，且 降低 了孔锥度。 关键词：微细电化学加工 ；微细盘状电极 ；加工定域性 ；型孔锥度 中图分类号 ：TG662 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2015)02-0057-04 TheFabricationofDiskM icroelectrodesand itsResearchinM icroElectrochemicalM achining HeZhiwei，WangMinghuan，ZhangLi，XuXuefeng (ZhejiangUniversityofTechnology，Hangzhou310014，China) Abstract：A processoffabricatingdiskmicroelectrodewasproposedbasedontheelectrochemical etchingprinciple．A microelectrodewasfabricatedfirstly，then thetop endwasinsulated inorderto protectitfrom etching．Then thediskmicroelectrodewasobtained．Throughtheexperimentstudyon themachiningon a lmm thick 340 stainlesssteelplateusing cylindrical，diskmicroelectrodeand multiplediskmicroelectrodeprovedthatin electrochemicalmicromachining，diskmicroelectrodehas betterlocality，smallerside—gapandholetaper． Keywords：microECM；diskmicroelectrode；machininglocality；holetaper 随着科学技术 的发展 ，不论在军工还是在民用 型孔锥度 ；而较小 的侧壁加工间隙会阻碍加工 区域 领域 ，精密化 已成为工业发展 的趋势 ，而深微4~：fL、 电解液的更新 ，影响加工精度 ，甚至会引起短路 ，导 微小零件是精密化过程 中的必然需求。同时，微细 致加工无法进行。尤其在加工深微d,~fL时，问题更 电化学加工方法 的优势也越来越突出，如 ：无工具 突出。为解决微细电解加工过程中电解液更新困难 磨损 ，无切削应力 ，表面质量好 ，且不必考虑待加工 及型孔锥度的问题 ，学者们做了大量研究。谢岩甫 材料的硬度 、脆性等 ，使其近年来在微细加工领域 等 1【采用端面绝缘 的方法制备出倒锥状微细电极 ， 的地位越来越重要 。作为微细电化学加工中最重要 即杆身尺寸小于端面直径的电极，以提供较大的通 的组成部分，微细工具 电极的制备是一个重点，也 道 ，有利于电解液更新。刘勇等圆利用电火花放电加 是一个难点。尤其在加工复杂型腔时，需制备形状 工 的方法加工 出端部为球状 的微细 电极 ，在增大电 复杂 的工具电极 ，但 目前电化学腐蚀法只局限于加