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二、实验原理 本实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器,如图所示,它是由两个圆筒和一个圆柱组成。设外圆筒的半径为R,内圆筒的半径为r,圆筒的长都为L,则圆筒的电容量为C=ε2πL/In(R/r) 图中C1和C2是差动连接,当图中的圆柱,当图中圆筒产生位移Δx位移时,总电容量变化为Δc=Δc1-Δc2=ε2π2Δx/In(R/r),其中ε2π和In(R/r)为常数,说明ΔC与Δx成正比,配上配套测量电路就能测量位移。 College of Materials Science and Engineering Tankertanker Design 检测与控制技术综合实验 华中科技大学材料科学与工程学院实验教学中心 压阻式压力传感器的压力测量 实验目的 实验仪器 实验原理 实验内容与步骤 实验报告 注意事项 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 一.实验目的 等式两边取微分: 压阻效应:是指当半导体受到应力作用时,由于载流子迁移率的变化,使其电阻率发生变化的现象。 从上面可以看出,电阻率发生变化,半导体的电阻也就发生变化。 采用单晶硅为传感器的弹性元件,在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜,用导线将其构成平衡电桥。 初始状态电桥平衡,输出为0,受力P后,电桥输出与P相对应。 主控箱 压阻式压力传感器 压力传感器实验模块 气源连接导管 三.实验仪器 1.按照下图连接管路和电路 四.实验内容与步骤 压阻式压力传感器测压实验安装、接线图 2、显示选择开关拨到20V档,合上主机箱电源开关,RW1 旋到满度的1/3位置(逆时针转到底再顺时针转两 圈),仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零,RW3调到 中间位置。 3、顺时针旋转主控台面板的流量计旋钮到底(此时主控 箱内压力罐压力最大)。 4、合上主控箱上的气源开关(启动压缩泵),此时主控 台压力表同步显示当前的气源压力值,同时记录当前的 Vo2的输出电压值。 5、逐步关小流量计旋钮(逆时针旋转流量计旋钮),使 在4~20KP之间每下降2KP分读取压力表读数,同步记录数据。 6、实验完毕,关闭电源。整理实验器材,放回原处。 1、 整理实验数据图,画出P-V实验曲线。 2、计算本系统的灵敏度S和非线性误差δ 。 S=ΔU/ΔP (ΔU为输出电压变化量,ΔP为压力变化量) δ=Δ m/ yFS ×100% (Δ m为输出值与拟合直线的最大偏差: yFS满量程输出平均值,此处为20KPa时的输出值) 3、思考:如何使本实验装置成为一个压力计? 5.实验报告 电容式传感器位移特性试验 实验目的 实验仪器 实验原理 实验内容与步骤 实验报告 注意事项 一.实验目的 了解电容式传感器结构及其特点。 二.实验仪器 主机箱 电容传感器 电容传感器实验模块 测微头 数显单元(主控台电压表) 直流电压表 三.实验原理 平板电容的电容量计算公式: C=εS/d=S/4πkd 利用平板电容 和其他结构的关系式通过相应的结构和测量电路可以选择 ε 、A、d三个参数中,保持两个参数不变,而只改变其中一个参数,则可以有测谷物干燥度( ε变)、测微小位移(d变)和测量液位(A变)等多种电容传感器。 圆筒式电容里的d和ε不变,变的是有效面积,不难看出有效面积S与X成正比,当X变化ΔX时,电容ΔC的变化与ΔX成正比。 设圆筒的半径为R,圆柱的半径为r,圆筒的长为L,圆柱的长为X,则圆筒的电容量为C=ε2πX/In(R/r)。 X R r 圆筒 圆柱 College of Materials Science and Engineering Tankertanker Design
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