双压电片变形反射镜样镜的设计与研制.pdfVIP

Vo l. 29.No. 6 第 29 卷第6 期 June. 2009 2009 年 6 文常编号: 0253-2239(2009)06-1437心6 双压电片变形反射镜样饶的设计与研制 周监1.2 宁 高1.3 官春林l 委文汉l l 叫…………l川| 脚蜘……61ω山川l川山阳Oωω2创O 2 中国科学院研究F生卡E 院，北京 100039 3 罔防科学技术大学光电科学与工程学院，湖南长沙 410073 摘要 双眼也片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低反制造周期矩的优点，能代替传统分 立式变形镜从而降低自适成光学系统的成本。为验证工艺的时行件和了解双版电片变形反射镜的件能，制造了… 块 20 单元的试验样镜。样镜采用 f 双屁乐电陶烧的结构，其中一层作援体离焦电极以校i巨大幅值的离焦像盘。 利用 Veeco 千涉仪测慑了样销单元电极影响函数，分析了其对前 36 项 Zernike 像盖的校正能力。结果表明，样镜 对离焦像盖能获得高达 8μm 以 k的校正筐，对其它高阶像芳:也能适量校正，但校ïE能力随空间频率H肩而降低， 显示出其适合校正低阶像差的特性。此外，讨论了不间有效孔径 F样销对 Zerníke 像荒的拟合能力。 关键词 自适应光学:榈联变形反射镜;洋尼克像主~;影响鼠数 中图分类号 。438 文献标识码 A doi: 10. 3788/AO 1437 Design and Fabrication of Prototype for Bimorph Deformable Mirrors Zhou Hong 1• 2 Ning Yu 1• 3 Guan Chunlin1 Jíang Wenhan 1 1Institute of Optics αnd Electronic8. Chinese Academy of Scieηces. Chengd饵 • Sích1础饵 610209. 侃侃α 2 Grad7ωte University of Chínese Academy of Science8. Beíjíng 100039. China 3 仇llege of Optωlectro附8 Science and E-ηgi忧eeríng. NIαtío阳1 Universíty of Defen8e Technology. Chαngshα • Hunαn 410073. Chínα Abstract Compared with conventional stack actuator deformable mirrors. the bimorph deformable mirrors have more simple structures. larger stroke. lower cost and less tíme consumption. Therefore. they are potential substitutes of stack actuator deformable mirrors in adaptive optics systems. A p