第三章——静电敏感与执行原理.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 平行板电容器的应用---压力传感器 压力传感器广泛应用于汽车系统、工业过程控制、医疗诊断与监控以及环境监测中。基于压阻敏感单元的压力传感器最常用（第五章介绍），基于电容敏感的压力传感器也广泛使用，基于薄膜的压力传感器非常适合于平行板电容敏感。相对于压阻式压力传感器，电容式压力传感器具有灵敏度更大，以及温度敏感性更低与功耗小等优点。 微型麦克风 微麦克风测量的是声压，要求灵敏度高，频带宽。 瑞士电子与微技术公司所制作的电容式微麦克风，利用体硅工艺制作，重掺杂自停止形成敏感膜和有孔固定电极。 清华微电子所研制的微型克风，表面工艺与体硅工艺结合制作，在单片硅片上实现了主要结构，采用纹膜结构提高灵敏度。 流量传感器广义上用于测量点流体速度、体积流动速度、侧壁的剪切应力以及压力的器件。流量传感器具有以下的一些优点： 1）体积小，对所测流场的干扰小； 2）由于柔性机械单元或电路集成，因此灵敏度高； 3）有实现大阵列传感器一致性的潜力。 平行板电容器的应用---流量传感器 平行板电容器的另一种应用是触觉传感器，它是机器人技术应用中的关键元件。要精确测量触觉信息，传感器必须有高的集成密度、高的灵敏度、以及多轴敏感的能力。 平行板电容器的应用---触觉传感器 叉指电容器 平行板电容器通过相对的平面电极产生敏感与执行，而另一种不同种类的电容器却利用电极侧壁产生的电容。相对于平行板电容器，这种电容器提供了另一种制造工艺和工作模式。它们使用叉指来 增加边缘耦合长度。两组电极放置于与衬底平行的同一平面上。通常来讲，一组指状电极固定于芯片，一组电极悬浮并可以沿一个或更多轴向自由运动。既然叉指形似梳子上的齿，这种结构通常也称作梳状驱动器件。 静电梳齿驱动 叉指电容器 特征：位移和电容变化量之间呈线性关系；静电驱动的功耗低。 一对叉指电极的电容由交叠区域叉指垂直表面电容以及边缘场电容所确定。由多个叉指组成的电容相互并联，因而，总电容是邻近叉指构成的电容总和。 静电梳齿驱动 静电梳齿驱动 一般采用表面微加工工艺制做 包含有许多相互交错的指状梳齿 当施加电压时，梳齿之间产生吸引力，梳齿相互靠近 静电力的大小与梳齿对数成比例，因此为了得到较大的力，一般要求梳齿较多。 静电梳齿驱动存在的问题： 如果同一根梳齿两边的间隙不相等，则梳齿将会偏向一边，并与另一根梳齿粘连在一起，直到不再施加电压 静电梳齿驱动实例 梳状驱动器件的应用 1.惯性传感器 基于梳状驱动的惯性传感器可以用各种方式来实现。ADXL加速度计是最经典的一种MEMS传感器，它是基于共面横向梳状驱动的。 梳状驱动加速度计 2.执行器 梳状驱动执行器常常用来产生面内或离面位移。 用于光开关的梳状驱动器 大位移梳状驱动执行器 右图是Sandia国家实验室研制的一种齿轮传动的机械装置。 静电悬臂驱动 利用了驱动电压与梁末端偏移量之间的关系。 静电梳齿驱动 静电旋转微型马达 静电式微执行器实例(1) 静电激励已经被用于实现旋转马达结构。基本思路是制做一个能自由转动的中间转子，四周布以电容极板，以合适的相位驱动，就可使转子转动。 “尺蠖” 执行器 静电式微执行器实例(2) 使用一个能弯曲的末端带有微小垂直挡板的金属板，当在金属板和衬底中掩埋的导体两端加电压时，金属板就向下弯曲，并将挡板向前推进一小段距离。电压消失时，由于挡板和绝缘层表面摩擦力的不对称，导致一定程度的运动“调整”，因而产生了金属板净位移。 静电光开关 静电式微执行器实例(3) 凹槽绝缘 硅 静电梳齿驱动器 光纤 氧化硅 输入1 输入2 输出2 输出1 驱动器作用时 的直通状态 输入1 输入2 输出1 输出2 驱动器不作用 时的反射状态 光纤槽 光纤槽 采用了一双面反射的垂直微镜来实现开关。将微镜与一根长梁相连，长梁由梳状电极静电驱动。只要施加一个电压短脉冲，微镜在长梁的带动下就会作进入或弹出光路的水平运动，实现光路切换。 静电致动微泵 静电式微执行器实例(4) 入口 出口 驱动腔 泵薄膜 检测电极 泵腔 绝缘层 驱动单元 阀体单元 Zengerle R的静电致动微泵 微泵的尺寸为，由静电驱动膜片、被动阀、进口和出口组成。泵用峰值为150~200V、频率从0.1Hz到10kHz的电压脉冲驱动。该泵的最大流速可达到250-850?L/min（正向）和 200-350 ?L/min（反向）。在供电电压为200V时，可达到最大背压为310cm H2O，最大流速为850?L/min。 结束 * * * * * * * * * *