退火时间对BNT-BT6薄膜微结构及压电性能的影响.pdfVIP

: ( ) · · 材料导报 研究篇 年 月 下 第 卷第 期 6 B 　 　2016 3 30 3 退火时间对BNT-BT6 薄膜微结构及压电性能的影响∗ 1 2 2 2 , , , 韩 昊 詹 科 王现英 郑学军 　 　 ( , ; , ) 1　上海理工大学环境与建筑学院 上海 200093 2　上海理工大学材料科学与工程学院 上海 200093 摘要 采用溶胶 凝胶法( )在 / / / ( )衬底上制备了 ( ) 　　 - Sol-Gel Pt Ti SiO Si 100 0.94 Na Bi TiO -0.06BaTiO 2 0.5 0.5 3 3 ( ) , 。 ( ) , BNT-BT6 薄膜 研究了不同退火时间对其微结构和压电性能的影响 X 射线衍射 XRD 结果表明 制备的 BNT- , , 。 ( ) , BT6 薄膜为钙钛矿型铁电薄膜 随着退火时间的延长 晶粒尺寸略有增加 原子力显微镜 AFM 结果表明 制备的 、 。 , 。 薄膜表面比较平整 无裂缝 随着退火时间的延长 薄膜的粗糙度有所增加 在退火时长为 60 min 时薄膜表面具有 , ; , , 最佳的均一性 在退火时间为90 min 时薄膜均一性最差 优化退火时间 可提高薄膜结晶程度 避免焦绿石相的生 , 。 ( ) , 。 成 进而提高BNT-BT6 薄膜压电性能 压电力显微镜 PFM 结果表明 BNT-BT6 薄膜的电畴为多畴结构 在不同 , , 。 退火时间下均有明显的压电响应 特别是在退火时间为 时 原始电畴有着最高的振幅强度 在 60 m