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小型低温真空光学实验装置设计
DESIGN OF SMALL VACUUM EXPERIMENT EQUIPMENT OF CRYOGENIC OPTICS
屈金祥 陆 燕
中国科学院上海技术物理研究所第四研究室 上海 200083
摘 要 低温光学就是要解决光学系统在低温情况下的一系列问题 如材料特性 光学元件单元及系统整
体性能变化 光学元件变形 低温污染等等 为适应航天某光学系统研究的需要 研制了一套低温真空实
验装置 该低温真空光学实验装置包括低温真空腔体 真空抽气系统 ZYGO干涉仪和防振平台以及监控测
温系统 其中的低温真空腔体是针对小型光学元件实验设计的 它主要用于测量光学元件的温度场和低温
变形 并且把电机产生的局部热量尽可能的导出系统外部 本文还对真空低温腔的关键部件光学窗口和梯
形支撑的设计进行了详细分析
关 键 词 低温真空 低温光学 实验装置 有限元 ZYGO干涉仪 梯形支撑
1引言 2 系统实验装置的建立
随着空间技术和军事技术的发展需要 探测仪 该光学系统的最主要部件之一是动镜装置部
器的分辨率要求越来越高 在深冷的条件下 当需 分 基于反射镜的温度要冷却到 150K并对反射镜
要探测的目标信号十分虚弱时 探测仪器的背景辐 的变形进行研究的目的 就需要建立一套高真空和
射主要来自仪器本身的光学系统和支撑结构 探测 低温应用的实验系统 该系统还要满足进行其它光
仪器灵敏度严重受到系统本身辐射的影响 为减少 学元件的低温实验需要 系统实验装置由真空机
这一热噪声 冷却光学系统是必需采用的方法 只 组 低温真空腔体 防振系统 测量装置等主要部
有把光学系统冷却及其相关部件冷却到一定程度 分组成
才能有效地减少背景光子的通量 发挥背景极限探 2.1 低温真空腔体设计
测器的作用 大大提高探测器灵敏度 在低温状态 低温真空光学实验装置系统示意图如图1所示 1-
下工作的光学系统需要解决一系列问题 这些问题 机械泵 2-预阀 3-分子泵 4-高阀 5-铜带 6-低
涉及材料特性 光学元件单元及系统整体性能变 温真空腔 7-直线电机 8-电源 9-被测量光学
化 光学元件变形 低温污染等等 这就形成了一 系统 10- ZYGO干涉仪 11-光学窗口 12-监控计
门新兴学科 低温光学 算机 13-温控电路 14-铂电阻 15-电热器 16-
自上世纪七十年代开始 美国首先对低温光学 液氮箱 17-活性炭 18-氮气 19液氮 20低阀
技术进行研究 最初主要用于各种观察 测量系统 低温真空腔体是实验系统的核心部分 其示意图见
例如低温红外望远镜 空载干涉仪器等 从机载 如图21 抽气管 2-液氮桶 3-上腔体 4-铜带 5-
球载到星载 大多数系统都成功有效地完成了对外 引线出口 6-支撑平台 7-下腔体 8-电机支撑 9-梯
空的各种探测任务 欧洲一些国家也对低温光学系 形支撑 10-光学窗口 11-O形圈 12-动镜支撑框架
统的观察仪器进行了研究 国内起步于上世纪八十 13-O形圈 14-活性炭 15-出气管16-进液管 腔体
年代末 由于国内航天及其国防事业的发展要求有 总高 461mm外壳直径 284mm内有圆柱形液氮容
高灵敏度的探测器 而这些仪器将不可避免地用到 器 可以储存液体约4升 其中的光学元件支撑框
低温光学系统 架是专门为动镜设计的 其高度 177mm整个腔体
我国的未来光学遥感系统采用了十几个光学元 可以测试直径小于250mm,高度小于200mm的各类反
件 这些系统要求冷却到150K并且对光学元件的 射镜和光学元件
控温范围要求非常严格 因此就需要研制一套低温 液氮桶下面用铜带接光学元件装置 当液氮桶
真空实验装置对相关的光学元件进行低温实验
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