制备温度对(a-C∶Fe)Al2O3Si结构光电转换效应影响的研究.pdfVIP

太阳能学报 第36卷第2 期 Vol. 36, No. 2 2015 年2月 ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA Feb. , 2015 文章编号:0254-0096(2015)02-0382-05 制备温度对(a-C :Fe ) /AI 0 /Si 结构 3 2 光电转换效应影晌的研究 谭新玉l ， 2 ，刘琴琴l ，石玉洁1 ，田兴瑞l (1三峡大学新能源研究院，宜昌 443002; 2 北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) 摘 要:采用脉冲激光沉积法在n-Si(100)衬底上制备氧化铝膜(Al，OJ)和不同温度下的铁掺杂非晶碳薄膜(a-C:Fe) 。 I-V特性曲线表明:制备的a-C: Fe/Al，OJSi 异质结结构具有明显的整流特性和光伏效应，碳膜的制备温度对 a-C : Fe/A1 0JSi 结构电池光伏性能有显著影响。合适的沉积温度能显著增大异质结的开路电压和短路电流，进而 2 增大异质结的光电转换效率，在碳膜制备温度为350 t:时，异质结获得最佳光电转换效率。当制备温度超过350 t: 时，电池的开路电压与短路电流大幅度减小。通过对a-C:Fe 膜的拉曼光谱分析显示，随着制备温度的升高，非晶碳 膜的结构经历了从类金刚石向类石墨化的转变，从而对电池的光电转换特性造成显著影响。 关键词:制备温度;光伏效应;非晶碳膜;异质结 中图分类号: 0613.7; TM914.4 文献标识码:A o sl 度，得到光伏性能最好的铁碳膜沉积温度。通过拉 曼光谱分析，对不同温度下沉积的碳膜的微观结构 变化进行探讨。 非晶碳、碳纳米管、石墨烯、富勒烯等新型碳 材料由于具有优异的电学、化学和机械性能，在微 1 实验方法 电子器件、光电子学等许多方面有着诱人的应用 为避免高温热压过程中铁与碳的可能化合，本 前景[叫。其中，非晶碳膜是取代硅作为太阳电池材 实验中铁碳混合靶为冷压靶。高纯铁碳复合靶材 料的最早成功的碳基半导体材料[到。它的带隙可通 是用纯度大于 99.9%的纯铁粉和石墨粉按照 5:95 过掺杂或微结构的控制在较宽范围内进行调节，许多 的原子比混合均匀，用湿法球磨 48 h 后，在烘箱内烘 科研小组已用脉冲激光沉积、磁控溅射及化学气相沉 干再取料称重并压制成直径为3cm、厚度为 2cm 的 积等工艺[川，叫成功制备出非晶碳膜/硅基(a-C/Si)及 靶为商业购买，纯 柱状圆片作为靶材。单晶 A1 0 非晶碳膜/氧化硅膜/硅基(a-C: Fe/SiOJSi) 异质结太 2 3