唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用.pdfVIP

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2017-06-21 发布于北京
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唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用.pdf

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第 34 卷第6 期 Vo l. 34 , No.6 红外与毫米波学报 2015 年 12 月 J. Infrared Millim. Waves December ,2015 文章编号: 1001 -9014(2015)06 -0663 -05 DOI:I0.11972/j. issn.l00l -9014.2015.06.005 Uniqueness test for thin film fitting in spectroscopic ellipsometry I I 2 I I WANG Zi-Yi , ZHANG Rong-Jun *, TANG Bip2 , SUN Yuan-Cheng , XU Ji-Ping , ZHENG Yu-Xiang , 3 3 WANG Song-You\ , CHEN Liang-Yao , FAN Hu矿， LIAO Qing-Jun , WEI Yan-Feng (1. Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing and Department of Optical Science and Engineering , Fudan University , Shanghai , 200433 , China; 2. Jnstitute of Electronic Engineering , China Academy of Engineering Physics , Mianyang 621999 ,China; 3. Key Laboratory of Infrared Image Materials and Devices , Shanghai Institute of Technical Physics , Chinese Academy of Sciences , Shanghai 200083 , China) Abstract: The thickness and dielectric constants of thin films usual1y have certain correlation in the fitting proce- dure of spectroscopic ellipsometry (SE). The choic巳 of different dispersion models may also in