大晶粒铌圆片加工工艺研究.pdfVIP

第 42卷 第 5期 有色金属加工 Vo1．42 No．5 2013年 1O月 NONFERROUS METALS PROCESSING October2013 大晶粒铌圆片加工工艺研究 游雨松 ，朱军，宋健 ，陈明伦 ，张 良玉 (宁夏东方钽业股份有 限公司 ，宁夏 石嘴 山 753000) 摘 要 ：本文介绍 了大晶粒铌 圆片的物理性能及其在超导腔领域的应用前景。重点研究了从 ~290mm 的铸态铌 圆片轧 制成 q~483mm的大规格退火态铌 圆片，同时大晶粒个数不改变 的工艺过程 。通过几个批次的铌 圆片加工，最终确定了 轧制、退火参数 ，并对 RRR值、硬度 、化学成分等性能指标进行综合测试 ，测试结果理想 。此外，通过重复试验验证 了加 丁工艺 的稳定性 。 关键词 ：大晶粒高纯铌 ；轧制 ；退火态 ；RRR(ResidualResistivityRate) 中图分类号：TG337．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1671—6795(2013)05—0030—03 目前 ，由多晶粒铌制成 的超导射频腔测试时 ，时 1．1 工艺试验 常会遇到一些非正常损耗 ，如高加速梯度 的 Q—slope， 试验制定的大晶粒铌圆片加工工艺路线 ：高纯铌 对于这种现象的解释大都和铌的晶粒界面有关。此 锭一大晶粒铌 圆片一机加一 轧制一 酸洗一 退火一校 外 ，晶界还提高氢的吸收和扩散能力 ，聚集杂质 ，从而 平下料一酸洗一检验。为 了验证大晶粒铌圆片加工 降低材料超导性能 。 工艺 的可行性 ，从 RRR300， =290mm 的大晶粒铌 新材料的出现 ，特别是近几年 出现的大晶粒和单 锭 57#切取一片 一18mm厚 的大 晶粒铌 圆片 (57#，见 晶粒铌 ，吸引了大量研究人员 的 目光。这种材料 的晶 图 1)按照工艺进 行试 验 ，成 功加工 出了 ~483mm， 粒较大 ，晶粒内部表面光滑 ，有简化表面处理 的潜力 ， ～ 4ram厚的大晶粒铌圆片。 用于超导腔制造会更有潜力。2007～2008年，DESY 和 HERAEUS公 司开 发 出大 晶粒铌 圆板 。2005～ 2007年 ，北京大学与宁夏东方钽业股份有限公司进行 合作 ，研制出高性能大晶粒铌板 。随后 ，国际上一 些研究超导射频腔的重点实验室，如 JLAB、DESY和 KEK都开始用大晶粒高纯铌制造超导腔。经过不断 试验 ，得到了令人鼓舞的结果 。其 中，DESY制造的单 Cell大 晶粒铌超 导腔 ，电解抛光后 ，加速梯度达 到 图157样大晶粒铌圆片原料(左图)和成品(右图)的晶粒分布 40MV／m [ Fig．1 Graindistributionofstock(1eft)andfinished 国内外制造 RF超导腔所用的大晶粒铌圆片都是 (right)of57#largegrainNi—disc 直接从铸锭上切取 的。随着 Spoke腔 、1／2波长腔等 新腔型的出现，所需的大 晶粒铌 圆片尺寸越来越 大， 1．2 主要工艺讨论 JLAB制造 650MHz超 导腔所 用 的铌 圆片直径 为 1．2．1机加工序 483mm。原来直接从铸锭切下的大晶粒铌 圆片已远 大晶粒铌 圆片边缘为不光滑的铸态 ，轧制时边缘 远不能满足新腔型的加工需要 ，所 以研究大晶粒 、大 容易产生小裂纹源 ，随着轧制 次数的增多 ，裂纹就会 尺寸铌网片的加工对将来的科研和生产有很大 的推 沿晶界或缺 陷向铌 圆片 内部扩展 ，所 以轧制前车外 动作用 。