精密散射式多感测器三角雷射探头之研制-中原大学机械工程学系.PDF

中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： D12-0026 精密散射式多感測器三角雷射探頭之研製 1 2 修芳仲 、劉旻欣 1 國立台灣科技大學機械學系副教授 2 國立台灣科技大學機械學系研究生 國科會計畫編號： NSC-95-2221-E-033-011-008 工件表面粗糙度進行即時量測，Ostafiev V [3]利用 摘要 單雷射光源，搭配電荷耦合元件(CCD)，以光反射原 本研究主要為研製一精密散射式多感測器三角 理製作出一量測精度約0.1 μm之量測系統 ，Lu R S [4] 雷射探頭，在光路設計上以 Scheimpflug原理為基 則是利用光散射原理搭配三角量測法，偵測散射光能 礎，將使投射至感測器表面的雷射光點產生恆聚焦且 量分佈，可用於表面粗糙度量測。 具有光路放大之效果；在構造上以單雷射光源搭配六 在多感測器三角雷射探頭設計方面，Saito K [5] 個線電荷耦合元件(Linear CCD)感測器；在量測方式 利用三個相隔 120 °擺放的電荷耦合元件(CCD)搭配雙 上提出單與雙感測器量測模組和近似環形的五個與 散射聚焦透鏡研製雷射探頭，其量測精度約 50 μm， 六個感測器量測模組，以尋找出雷射探頭的最佳量測 量測範圍 20 mm； Lai X M [6] 一樣利用相同之設計 方式。 研製雷射探頭，其量測精度約 11 μm。Lee S J [7]則 本研究所研製之雷射探頭，量測範圍±2 mm，解 利用相隔 90 °擺放的四個位置感測器（PSD）搭配雙散 析度 2 μm。並以 Visual Basic 6.0程式語言開發人 射聚焦透鏡研製雷射探頭，其量測精度約 50 μm，量 機介面來整合三軸微定位平台與自製雷射探頭，以建 測範圍 ±45 mm。Shiou F J [8] 則利用特定擺放位置 構一自動化非接觸式三維量測系統。 的六個位置感測器（PSD）搭配 Scheimpflug 成像原 在提出的多種量測模組中，針對不同表面斜率、 理，研製雷射探頭進行自由曲面之量測，其量測精度 複斜面進行量測比較，根據實驗結果以五個 CCD的偏