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第24卷第12期 机 械 设 计 Vol_24 No．12 2 0 0 7年 1 2月 JOURNAL OF MACHINE DESIGN Dec． 2007 一 种具有较小位移耦合度的二维微动平台新结构 黄金永 ，毛全有 ，魏燕定 (1．浙江机电职业技术学院机械T程系，浙江杭州 310053；2．浙江大学机械512程系，浙江杭州 310027) 摘要：分析了二维微动平台由于机构原因产生的两向间位移耦合现象，提出了一种采用线切割方式加工、具有对称 式复合柔性四杆机构的微动平台结构形式，并使Y r~-?-台完全镶嵌在 向平台内。通过理论分析和实验测试，其结果理 想，为较好地解决二维微动平台两向间位移耦合问题提供了有效方法。 关键词：微动平台；复合平行四杆机构；镶嵌式结构；位移耦合 中图分类号：TD403 文献标识码：A 文章编号：1001—2354(2007)12—0052-03 随着科技的发展，各类精密、超精密仪器仪表，如图形发生 a—b az—b 器、分步重复照相机、光刻机、电子束和X射线及其检测设备 c c(／口 —6 + 6 一 ) 等，被广泛地应用于科学研究和现实生活中。与此同时，相配 式中：6=asin =bsin口。 套的各类精密、超精密微动平台也应运而生…。近年来出现的 由上式可知，杆长加工误差引入的偏转角A0很小。例如：当 高精度、高稳定性的微动平台，在结构上较多地采用了柔性铰 a=10．1 mm，b=10 mm，c=20 mm，占=10 m时，A0：2 x 链导轨形式。 10一rad，转角误差几乎可以忽略不计。由此证实平行四杆机构 但在二维微动平台的设计中，由于结构上的缺陷，容易产 具有良好的导向性能。 生 ，y两向间的位移耦合，较大程度地限制了系统的精度和稳 定性㈣。 文中提出了一种能完成 ，l，两向精密定位的二维微动平 台结构形式，它采用整体式线切割加工方式，以保证平台良好 的对称性，并在 ，y向上分别独立地组成一复合柔性四杆机 构，且使y向平台完全镶嵌在 向平台内部。 1 平台结构分析 图1 平行四杆机构导向性能分析简图 1．2 单平行四杆机构位移耦合分析 1．1平行四杆机构导向性能分析 如图2所示，单个平行四杆机构沿 方向产生一个位移占 图1为平行四杆机构导向性能分析简图。从理论上说，由 时，在y方向上有一个寄生运动，产生了耦合位移占 ，可得： 于a=b，平行四杆机构在力F作用下，连杆C应作平行于机架 6，：l一 、 = 的运动。但由于加工误差的存在，杆a和杆b的长度不完全相 由此可知，用单个平行四杆机构设计二维微动平台时， ，y 等，从而引起连杆C在运动中的转角误差A0，则有： 向位移将相互耦