步进机的设计及其特性二.PDF

年 第 期 电子工业 专用设 备 第 卷 一种 具有实用价值 的准分子 激光 步进机 的设计及 其特性 等 四人 摘 要 准 分 子激 光 步进 机 在其 实 用价 值 方 面 已达 到 成 熟 阶段 。 本 文对 大 视 场 大 透 镜 的开 发 和 协 及 其 以 下 的 成 像特 征 尺 寸进 行 了说 明 。 准 分 子 激 光 器 在 其 生 产性 、 稳 定性 、 可 靠性 、 安 全 性 和 使 用 成 本等方 面 己达 到 实 用 阶段 。 准 分子 激 光 步进 机 设 备 的 综 合控 制 问题 例 如 聚焦 、 曝 光 和 套 刻稳 定性等 己 经 得 到 解 决 。 并且 可 使抗 蚀 剂 系统 、 杭 蚀 剂 工 艺、 测 量 和 传 统掩模 制 造 等技 术得 到 不 断地 改进和 利 用 。 本 文 专 门讨 论 准 分 子 激 光 步进 机 设 计 的具 体 问题 , 并根据 一 些 生 产现 场 安 装采 用 的新 型透 镜 远 外 步进 机 来描 述其特 性数据 。 ” 紫 简 介 理论 曲线进 行 了说 明。 对 存储器 的评价取决于每 位 的成 。 。。 , 一 本和速度 , 在 的驱 动 下 它 要 求在 黯 年 内光刻工 艺应具备在工业 化生产环境加 工 。 林 最小关键尺 寸 如 图 所 示 。 入 同样 要求在