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高精度全聚合物MZI波导传感器.pdf
第35卷摇 第3期 吉林 大学学报 ( 息科 学版) Vol.35摇 No.3
2017年5月 Journal ofJilinUniversity (Information ScienceEdition) May2017
文章编号:1671鄄5896(2017)03鄄0243鄄06
高精度全聚合物 MZI波导传感器
a,b a,b a,b a,b
刘摇 豫 ,谢泰洋 ,衣云骥 ,张大明
(吉林大学 a. 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区;b. 电子科学与工程学院,长春 130012)
摘要:为解决基于有机衬底的传统光波导传感器灵敏度低的问题,提出了基于聚合物材料的高灵敏度 MZI
(Mach鄄Zehnder Interferometer)波导的传感器结构,从理论上设计了对称形MZI和非对称形MZI 的高灵敏度波导
传感器结构。 得到对称型MZI形波导传感器折射率在1.34 ~1.36、1.36~1.38和1.38~1.40 区间内灵敏度分
别为1850.76 dB/ RIU、1995.09 dB/ RIU和1547.30 dB/ RIU。 圆弧型非对称型MZI波导传感器折射率在1.33~
1.35、1.35~1.38和1.38~1.40 区间内灵敏度分别为1719.23dB/ RIU、1251.68dB/ RIU和2065.22 dB/ RIU。
对这两种传感器结构,通过多个波导传感器相集成的设计,可实现材料在折射率1.33~1.40 区间内的高灵敏
度传感。
关键词:光波导;传感器;聚合物;灵敏度
中图分类号:TN256 文献标识码:A
All Polymer High Accuracy MZI Waveguide Sensor
a,b a,b a,b a,b
LIU Yu ,XIE Taiyang ,YI Yunji ,ZHANG Daming
(a. State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics;
b. College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130012,China)
Abstract:In order to solve the problem of the low sensitivity of the traditional waveguide sensor based on
organic substrate, the MZI (Mach鄄Zehnder Interferometer) waveguide sensing structure of high sensitivity
based on polymer materials is proposed,and two high sensitivity waveguide sensing structure with symmetric
MZI and asymmetric MZI is designed. The sensitivity of the optimized symmetric MZI waveguide sensor in the
interval 1. 34 ~ 1. 36,1. 36 ~ 1. 38,1. 38 ~ 1. 40 are 1 850. 76 dB/ RIU, 1 995. 09 dB/ RIU,
1547.30 dB/ RIU. The sensitivity of the optimizedasymmetric MZI waveguide sensor in t
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