第3课微位移的精密测量.PDFVIP

2015/6/1 精密测试技术课程 第3课：微位移的精密测量 居冰峰/刘伟庭 完成人：居冰峰 杨克己 陈远流 孙韬 王文 白小龙 浙江大学 江苏中晶光电有限公司 3.微位移的精密测量 长度/位移测量是测量领域最基本的种类之一 日常生活中的长度/位移测量：长度尺，游标卡尺，GPS距离定位等 1 2015/6/1 3.微位移的精密测量 长度/位移测量是国际单位是米（m） Meter 的国际定义： The meter is the length of the path travelled by light in vacuum during a time interval of 1⁄ 299 792 458 of a second. 3.微位移的精密测量 在宏观领域，雷达、激光测距、GPS定位等是大家最为熟知 的位移测量方式。 Micro/Nano World How? 在微纳尺度领域，如何进行位移/长度的测量？ 2 2015/6/1 3.微位移的精密测量 -9 1 nm = 10 m How to measure on this order ? 3.微位移的精密测量 本章介绍电容微位移传感器、电感微位移传感器及其在微纳测 量领域中的应用。 3.1 电容式位移传感器 3.2 电感式位移传感器（包括同步感应器、电涡流传感器等） 3 2015/6/1 3.1·电容式微位移传感器 电容式位移传感器就在我们身边 键盘的按键就是基于电容式传感器的感应 3.1·电容式微位移传感器 电容式位移传感器就在我们身边 各种触摸屏技术 4 2015/6/1 3.1·电容式微位移传感器 电容式位移传感器就在我们身边 电容式水位计：家用洗衣机，化工过程容器等 3.1·电容式微位移传感器 什么是电容位移传感器？ 电容式传感器是把被测量的变化转换为电容量变化的一 类传感器。实质上是一个具有可变参数的电容器。 S   S