面向MEMS制造的高速精密定位平台的动力学仿真和结构设计.pdfVIP

第42卷第8期 机械工程学报 v01．42N0．8 2006年8月CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERINGAug． 2006 面向MEMS制造的高速精密定位平台的 动力学仿真和结构设计水 赵兴玉 冯晓梅 武一民 张大卫 (天津大学机械工程学院天津300072) 摘要：基于音圈电动机直驱，提出一种采用新型弹性解耦机构的2自由度笛卡儿坐标高速高精度定位平台。该平 台将电动机放置在基座上，使运动惯量大大减小，从而使实现定位平台的高速高精密运动成为可能。阐述了该定 位平台的弹性解耦原理，采用有限元分析与机械系统动态仿真相结合的方法，对定位平台的高速动力学行为进行 研究。通过机构的刚体和弹性动力学分析，基于定位平台的动态响应，对弹性解耦机构中的关键部件——弹簧， 进行动态优化设计。详尽地探讨了铰链弹性对弹簧刚度和预载选配的影响，以及弹簧刚度和预载对定位平台运动 的影响规律，并给出弹簧刚度和预载的匹配曲线，从而为该类制造装备的动力学设计和样机建造奠定了重要理论 基础。精度试验表明，该高速精密定位平台的各项指标均达到了设计要求，证明了设计理论的正确性。 关键词：定位平台动力学仿真和设计弹性元件弹簧 中图分类号：TP27 装备中的重要研究内容之一【5_9】，对促进MEMS以 O前言 及Ic制造技术的发展也具有重要意义。 提出一种采用新型解耦机构的2自由度笛卡 MEMS器件的微连接、微封装及微组装等装备尔坐标高速高精度定位平台，并采用有限元分析与 是MEMS制造技术中的重要组成部分，也是影响机械系统动态仿真相结合的方法，对该定位平台的 高速动力学行为进行研究。通过机构的刚体和弹性 MEMS发展的关键技术之一。随着MEMS技术的 发展，为进一步提高MEMS的制造质量和生产效动力学分析，基于定位平台的动态响应，对弹性解 率，对该类装备的性能也提出了更高的要求，高速 耦机构中的关键部件弹簧进行动态优化设计，详尽 高精度已成为该类装备重要的发展方向。 地探讨了铰链弹性对弹簧刚度和预载选配的影响， 然而，高速和高精度的要求常常是互相矛盾 及弹簧刚度和预载对定位平台运动的影响规律，以 的。机构零部件作为一种有限刚度的结构，必然存 期为该类制造装备的动态设计和样机建造提供理 在一定的弹性，从而导致在高速、高加速运动中产 论指导。 生由于机构柔性带来的残余振动，致使系统精度的 降低和机械建立时间的延长。因此，保证系统具 1 结构设计与工作原理 备优良的动态品质是实现高速和高精度的重要前 提‘11。 所设计的2自由度笛卡儿坐标高速、高精密定 现有的此类装备，如芯片焊接机和引线键合机， 位平台的机械结构如图l所示。主要由基座、弹性 多数采用串联型的直线工作台(电动机一丝杠一螺 解耦机构、下滑台和工作台组成。采用两个直线音 母)机构形式，存在运动间隙、惯量大和机械建立时 圈电动机分别驱动下滑台和工作台，省去了中间传 间较长等缺点，限制了该类制造装备精度、速度和 动环节，并实现了工作台的平面运动。其中y向音 加速度的进一步提高[241，其极限速度和加速度仅为 圈电动机和工作台间由无间隙解耦机构连接，使音 1 ln／s和10州s2，很难满足连接速度15～25线／s、 圈电动机可以放置在基座上，从而减轻了运动部件 加速度100州s2和±2¨m的高速高精度要求。因此， 的重量，使实现定