硬盘磁头生产中的ESD防护技术.pdfVIP

认证与实验室 硬盘磁头生产中的E S D防护技术 The ESD protecting technology in the hard disc magnetic head manufacture 朱柱锦 陈健 朱洪雷 Zhu Zhu-jin，ChenJian，Zhu Hong·lei (广东工业大学，广东 广州 (Guangdong U nive rsity of TechnoIogy， 510006) Guangzhou 510006，China) 摘 要：基于ESD在硬盘磁头生产过程中的产生机理，文章分析了EsD在磁头生产中的几种典型 损坏模型，阐述了硬盘磁头生产中如何进行ESlD防护。提出了对工作人员 生产机器 生产 方法、物料和生产环境等有效的ESD防护技术，从而有效减少在硬盘磁头生产中ESD对磁头的 关键词：ESD；硬盘磁头：防护技术 中国分类号：TN305．gg 文献标识码： 文章编号：1003-0107(2008)03-0091-03 Abstract：Based on the mechanism of the ESD in the process of the hard disc magnetic head manufacture．it analyzes several typical damaged models in the manufacture of the magnetic head，and illustrates how to prevent the ESD in the manufacture,and raisos soree effective protecting technology such as Man．Machine。Method and Envirenment to prevent the基SD，so ft can reduce the ESD damage to the hard disc magnetic head in the manufacture． Key words=ESD；Hard disc magnetic head；Protecttng technology CLC numbaT=TN305．99 Document code：B Artl罄la ID：1003-0107(2008)03-0091-03 1．引言 E1ectrostatic Damage。 头)直接接触 已经带 电的夹具、托 随着 IT产业 的发展 ，社 会对 盘时，就会直接放 电；二、耦合电 硬盘的需求量越来越大，因而硬盘 2．2 ESD的产生机理 容放电，耦合电容放 电方式并不是 行业的发展不断加快。在硬盘生产 2．2．1静电产生途径 有电容器在放 电，是由于在生产过 中，硬盘磁头生产占据比较重要的 静 电就 是物体表 面 电子 间的 程中磁头半成品或机器部件会产生 地位，而硬盘磁头生产中的最关键 不平衡所产生的一种电，其产生机 静电电荷，而机器部件或磁头半成 的技术就是ESD的防护。硬盘磁头 理是