薄带表面微沟槽多齿犁削成形装置的设计.pdfVIP

第25卷第2期 机 械 设 计 VoI．25 No．2 2 0 0 8年2月 JOURNAL OF MACHINE DESIGN Feb． 2008 薄带表面微沟槽多齿犁削成形装置的设计 王黎明，吴磊，潘敏强，燕辉 (华南理工大学机械工程学院，广东广州 510640) 摘要：设计了一种薄带表面微沟槽多齿犁削成形装置，通过牵引机构和张紧机构将薄带预张紧，牵引下轮带动薄带 前进过程中利用上下两把多齿犁削刀具在其表面加工出多条平行的微沟槽，加工过程中并不产生切屑，微沟槽两侧形成 波纹状的翻边结构。微沟槽多齿犁削成形方法可以实现快速加工，并且降低加工成本，有利于微通道薄片在层叠式微反 应器中的推广应用。 关键词：多齿犁削；薄带；微沟槽 中图分类号：TG375 文献标识码：A 文章编号：1001—2354(2008)02—0058—04 微通道反应器…是一种借助微加工技术在固体基质表面 面。动力轴转动时带动牵引下轮转动，牵引下轮与薄带之间的 制造出各种形状微通道，并用于化学反应的装置。微通道反应 摩擦力是薄带前进所需的动力，薄带前进过程中靠摩擦力带动 器主要有两种构造方式 J：整体结构和层叠结构。两种结构的 张紧轮组转动，薄带在导向轮引导下前进的同时，刀具在其表 主要区别在于：整体结构是在单一的金属块 或硅晶块 表面 面犁削出微沟槽。 加工出单一微通道，而层叠结构则是在很薄的硅片、金属或其 他材料的薄片上加工出微通道，然后将多片微通道薄片相互层 叠在一起形成反应单元 。 整体结构制造相对简单，但只能进行单一的反应，反应系 统可扩展性较差；层叠结构对于密封要求较高，但可以根据反 应需求增加或减少微通道薄片的数量。因此，层叠式微通道反 应器逐渐受到关注。层叠式微通道薄片一般采用的微加工方 法主要有：湿化学腐蚀 、微电火花 、LIGA¨8 、反应离子刻 图1 薄带表面犁削成形原理 蚀 和微细切削加工 …，这些方法存在加工速率低及制造成 1．2 多齿刀具 本高等问题，因此，需要寻找一种适用于工业化生产的薄片表 为了同时在薄带表面加工多条平行微沟槽，犁削刀具采用 面微通道制造方法。 多齿刀具，结构如图2所示。该刀具由多个刀齿组成，每个单 文中提出一种薄带表面微通道多齿犁削成形方法，实现快 齿由两个对称分布的挤压面组成，两挤压面交汇处形成犁切 速加工的同时可以大大降低加工成本。与目前常用微加工方 刃，其作用是将金属劈开，使金属向两侧挤压面分流。刀齿采 法相比，多齿犁削实质上是一个挤压过程，加工过程中并不产 用硬质合金材料，通过线切割加工而成，加工后进行表面淬火， 生切屑，微通道两侧形成波纹状的翻边结构，通过这种加工方 以提高其强度和硬度。 法形成的微通道称为微沟槽，文中主要研究薄带表面微沟槽多 齿犁削成形装置的结构设计。 1 微沟槽多齿犁削成形工艺 图2 多齿犁削刀具结构示意图 1．1 薄带表面犁削成形原理 目前在薄片上加工…的微通道主要有3种方式：单面微通 2 机构设计 道 川、双面微通道 平丌穿透微通道 ，其中前两者应用较 多。因此，文中提出一种既可以在薄带单面加工微沟槽，也可 根据薄带表面微沟槽犁削成形原理，所设计的犁削成形装 置总体结构如图3所示，主要由动力机构和犁削成形装置两大 以双面同时加工微沟槽的成形工艺，其原理如图1所示。该装 置主要由两个牵引轮、两个张紧轮、前后各两个导向轮、上下两 部分组成，其中动力机构包括电机和减速箱，为了节省整个装 把犁削刀具及动力轴组成。