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6R机械手在CMP设备中的运动空间分析 The Analysis of Working Space for 6R Manipulator in CMP Equipment.pdfVIP

6R机械手在CMP设备中的运动空间分析 The Analysis of Working Space for 6R Manipulator in CMP Equipment.pdf

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6R机械手在CMP设备中的运动空间分析 The Analysis of Working Space for 6R Manipulator in CMP Equipment

明 茎塑鱼 6R机械手在eMP谖备中的运动 窒阀分析 徐荐0-,陈 波,高文泉,柳 滨 (中国电子科技集团公 四十五研究所 , 北京 101601) 一 一 / 一 摘 要:工皇 嘉 量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的 工1,;硫 , 确定了机械手工作空间;并利用 D.H坐标法,建立 6R机械手的数学模型,得到机械手 一 一 一 采端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。 最后 ,采用蒙特卡洛数值分析法 ,仿真 了机械手的运动 空间,结果显示,该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间。满足CMP设备的使用需求。 关键词:机械手;7-作空间;蒙特卡洛法 中图分类号:TN305.2 文献标识码:A 文章编号:1004—4507(2011)11-0011.05 TheAnalysisofW orkingSpacefor6R Manipulator inCM P Equipment XU Cunliang,CHEN Bo,GAOW enquan,LIU Bin (The45ResearchInstituteofCETC,Beijing101601,China) Abstract:Theworkingspaceofthemanipulator isan importantdynamic indexto estimatethe capacityofthemanipulator.Firstly,theworkprocedureofthemanipulatorisanalyzedinthispaper, andtheworking spaceofthemanipulatorisdefined.Secondly,on thebasisofD—H coordinate system,amathematicalmodelof6R manipulatoriSestablished.UsingthemodelandMonte.Carlo method,theworking spaceofthemanipulatoriSsimulated.The simulation resultshowsthatthe manipulator’SworkingspacemeetstheCMPequipment’Srequirements. Keywords:M anipulator:Workingspace;M onte—Carlomethod 机械手作为CMP设备的关键传输部件,其工 点的集合,其大小代表 了机械手的活动范围,是衡 作空间的大小直接决定了机械手能否实现传输功 量机械手工作能力的一个重要运动学指标,在机 能,并满足设备的需求。机械手的工作空间是指其 械手的设计、控制和应用中都需要考虑的一个重 正常运行时末端杆件参考点在基坐标系下能达到 要 问题(”。 收稿 日期 :2011.10.26 基金项 目:国家 02重大专项 (2009ZX02011-005A)

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