6R机械手在CMP设备中的运动空间分析 The Analysis of Working Space for 6R Manipulator in CMP Equipment.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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6R机械手在CMP设备中的运动空间分析 The Analysis of Working Space for 6R Manipulator in CMP Equipment

明茎塑鱼 6R机械手在eMP谖备中的运动窒阀分析徐荐0-，陈波，高文泉，柳滨 (中国电子科技集团公四十五研究所，北京 101601) 一一／一摘要：工皇嘉量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工1，；硫，确定了机械手工作空间；并利用 D．H坐标法，建立 6R机械手的数学模型，得到机械手一一一采端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后，采用蒙特卡洛数值分析法，仿真了机械手的运动空间，结果显示，该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间。满足CMP设备的使用需求。关键词：机械手；7-作空间；蒙特卡洛法中图分类号：TN305．2 文献标识码：A 文章编号：1004—4507(2011)11-0011．05 TheAnalysisofW orkingSpacefor6R Manipulator inCM P Equipment XU Cunliang，CHEN Bo，GAOW enquan，LIU Bin (The45ResearchInstituteofCETC，Beijing101601，China) Abstract：Theworkingspaceofthemanipulator isan importantdynamic indexto estimatethe capacityofthemanipulator．Firstly，theworkprocedureofthemanipulatorisanalyzedinthispaper， andtheworking spaceofthemanipulatorisdefined．Secondly，on thebasisofD—H coordinate system，amathematicalmodelof6R manipulatoriSestablished．UsingthemodelandMonte．Carlo method，theworking spaceofthemanipulatoriSsimulated．The simulation resultshowsthatthe manipulator’SworkingspacemeetstheCMPequipment’Srequirements． Keywords：M anipulator：Workingspace；M onte—Carlomethod 机械手作为CMP设备的关键传输部件，其工点的集合，其大小代表了机械手的活动范围，是衡作空间的大小直接决定了机械手能否实现传输功量机械手工作能力的一个重要运动学指标，在机能，并满足设备的需求。机械手的工作空间是指其械手的设计、控制和应用中都需要考虑的一个重正常运行时末端杆件参考点在基坐标系下能达到要问题(”。收稿日期：2011．10．26 基金项目：国家 02重大专项 (2009ZX02011-005A)