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QGA介绍 QGA仪 器介绍 QGA QGA软 QGA规 件 格参数 QGA介绍  QGA——Quantitative Gas Analyser  在线定量气体分析仪 QGA仪器结构  QGA仪器由以下几个部分组成：  真空系统  进样系统  离子源  四极杆  检测器  TIC  PSTU  CPS  MSIU QGA仪器结构 真空系统  QGA的真空系统由两部分组成， 前级泵和分子涡轮泵。  前级泵为EDWARDS nXDS 6i干 式滚轴泵——6l/s  分子泵为EDWARDS EXT75DX 涡轮泵——70l/s 前级泵——nXDS 6i 分子泵——EDWARDS Ext75DX 分子泵——EDWARDS Ext75DX 进样系统  QIC进样系统  毛细管：使用长度为0.9米或者2米可更换的石英毛 细管，外部有可加热的不锈钢套。  分子漏：使用内径为0.02mm或者0.03mm铂分子漏  取样压力：0.1至2.0 Bar 进样系统  消耗气量： 进样系统  消耗气量： 进样系统  分子漏与旁路温度控制为120℃，过温保护为160℃  毛细管加热套温度控制一般为160℃  其他连接配件：  1/16 英寸卡套和1/8 英寸不锈钢管 离子源 EI电子电离源：最常见的气相离子源，有标准 谱库。 灯丝被加热从而发射电子束，轰击气体分子使 其转变为带电粒子，典型的是阳离子和碎 片离子。 离子源的cage和聚焦电压保证正离子进入四 极杆质量分析器。 四极杆  四极杆：由四根带有直流电压（DC) 和叠加的射频电压（RF）的准确平 衡杆构成，相对的一对电极是等电 位的，两对电极之间电位相反，四 极杆内部形成一个四极电场，从离 子源进来的带电粒子在四极电场中 运动。  四极杆的作用：筛选离子 检测器  QGA配备了2种检测器  1、法拉第杯检测器  Faraday杯与质谱仪的其他部分保持一定电位 差以便捕获离子，当离子经过一个或多个抑制 栅极进入杯中时，将产生电流，经转换成电压 后进行放大记录。 electron suppressor - 11  最小检测分压：10 Torr +ve ions Electrometer Faraday Cup