高真空及超高真空注意事项.pdf

高真空及超高真空注意事項 1. 定義: 高真空一般指的是壓力為 1E-3 torr 到 1E-7 torr, 超高真空指的是壓力 低於 1E-7 torr 。 2. 抽氣速率：chamber 內容積要儘量小，連接到 turbo pump 的管子要儘量短， 管徑要各處儘量大，才能有較大抽氣速率，可減少抽氣時間及降低最後平衡 時的壓力。 3. 逸氣: 高真空及超高真空要考慮逸氣的問題, 接觸真空表面積越大, 吸附上 去的氣體就越多, 要抽下去就需要更多的時間。 4. 真空材質: 盡可能的減少放進真空室的物體, 不同材質的物體吸附氣體的能 力也不同, 請一一確認是否會造成抽氣的問題( 一般來說塑膠製品皆不宜, 主要原因是會吸附大量的氣體, 再者是不宜烘烤 ), 比如說實驗室常用的尼 龍束線帶請不要放進去, 任何有疑問的物品應先查清楚材料後去翻真空的 書比對是否影響真空度。 5. 氣體負荷: 在高真空下主要的氣體負荷為水氣, 超高真空下為氫氣, 所以要 抽到高真空不可避免的要烘烤 chamber, 尤其是當 chamber 從沒烤過或長時 間曝露在空氣中, 烘烤有助於縮短抽真空的時間, 而到超高真空則要選用對 氫氣抽氣最有效率的 pump, 如 ion pump 。 6. 測漏: 開始抽氣後請先確認真空腔體沒有實漏, 在壓力是 3E-1 torr 時可用乙 醇去測漏, 當確定乙醇測不出來後可以用氦氣測漏儀 ( 原分所區請向機械 工廠何師傅借, 中大區請找實驗室維護人 ), 確定真空系統沒有實漏後, 在 turbo pump 抽到 1E-3 torr 以下就可以開始烘烤, 注意 ! 有實漏的情況烤是沒 用的! 7. 烘烤準備: 用加熱帶繞 chamber 時, 注意加熱帶不能交叉疊到, 均勻的繞 chamber 腔壁, 需要用到膠帶固定的話請用耐高溫膠帶 ( 廠商: 沅橡, 產品 編號: 0400113-001)( 實驗室常用的 3M 膠帶不能超過 70 度, 請不要使用 ) , 繞好後外面再用玻璃纖維 (廠商: 立峰井, 產品編號: A1ET3100-1 ) 包覆保 溫, 注意 ! 玻璃纖維請先用鋁箔包住後用耐熱膠帶固定, 包的時後要帶手套, 小心被纖維刺到, 包覆時避開 window 、gauge 、electric feedthrough, 因為 window 怕加熱不均勻變形導致玻璃破裂, convection gauge 操作溫度不能高 於 50 度, electric feedthrough 大氣端的接頭為光華牌一般塑膠 (PE or PP ) 也 不可超過 70 度, chamber 底下的止滑墊請換成 viton 材質的, 一般塑膠止滑墊 也是不能超過 70 度, viton gasket 不能超過 150 度, 烘烤溫度最好在 130 度左 右, 最後貼上溫度計在 chamber 邊。 8. 操作順序: 開啟 scroll pump 粗抽到 100mTorr 以下後開啟 turbo pump, 這時後 就可以開始打開加熱器, 烘烤時間長短下一點說明, 退火後抽到 1E-6 torr 後 方可開啟超高真空 pump ( ion pump ) 。 9. 烘烤時間: 視該 chamber 乾淨程度 ( 油氣水氣多寡, 請戴手套進行架設, 盡 量保持 chamber 乾淨 ) 、是否烤過、曝露大氣時間長短而定，破一次真空 再抽下去所需的時間很長，所以做高真空超高真空實驗盡可能避免破真空。 10. 以下附上在 223 量測小圓 chamber 的結果, 這兩條曲線同樣是開啟 chamber 10 秒後再抽下去, 不過是先量烤的曲線再量不烤的曲線, chamber 內有麵包 板、兩個 Oriel 高真空相容平移台、electric f