具线上即时振动侦测与回授补偿之白光干涉量测技术发展.PDF

具線上即時振動偵測與回授補償之白光干涉量測技術發展 陳亮嘉 教授 李昆峯 Abraham Mario Tapilouw 國立臺北科技大學 國立臺北科技大學 國立臺北科技大學 自動化科技研究所 自動化科技研究所 機電科技研究所 lcchen@ntut.edu.tw t7618016@ntut.edu.tw t6669036@ntut.edu.tw 葉勝利 教授 賴皇文 龍華科技大學 工業技術研究院 機械工程系 huangwenlai@itri.org.tw slyeh@mail.lhu.edu.tw 摘要 本研究在發展一套具線上即時振動偵測與回授補償之白光干涉顯微量測系統，結合面外位移光學偵測 技術與回授補償來及時進行振動補償。白光干涉量測技術具有量測微奈米級檢測物與大範圍量測之特 性，但相當容易受到環境振動而影響到其量測精度。本系統是藉由結合接近單一紅外波段與可見波段 光源之雙光源系統，並搭配雙相機同步取像 ，來達到即時振動偵測之能力 ，並以白光干涉垂直掃描技 術為基礎，建構在Mirau 干涉儀架構上。藉由雙光源以共光路方式進入白光干涉顯微量測儀中 ，當兩 道光經過紅外光分光鏡後，單一紅外波段光源會產生高同調訊號 ，而可見波段之光源為低同調訊號， 故高同調訊號與低同調訊號可由線型相機與白光干涉量測用相機分別進行擷取。此時利用線型相機具 有高時間解析能力，藉由發展相位移偵測技術，可獲得環境振動之即時位移資訊。利用所偵測到即時 的位移變化，可藉以控制白光干涉量測用相機取得正確量測深度的白光干涉圖譜影像，達到補償振動 之功效 ，完成垂直掃描後即可利用傳統的白光干涉演算法來得到待測物之三維形貌。由結果可得知目 前系統可達到100Hz 的振動補償。 關鍵字：白光干涉儀，線上量測 ，防振 ，位移偵測技術。 壹、 前言 干涉量測技術被廣泛應用於微奈米級之三維檢測上，但因於垂直掃描過程中易受環境擾動而影響量測 之精度與準度，故近幾年來有不少研究單位投入光學干涉防振之研究，其中共可分成三大技術: 一、相移干涉參考訊號防振技術 主要是利用相移干涉訊號來偵測物體的位移量，在將其資訊即時補償環境的振動情況，以取得未 含有錯誤相位資訊之干涉條紋資訊為目標。Wu 等人(2002)提出利用 Twyman-Green 相移干涉 架構[1] ，藉由光耦合元件偵測干涉條紋在受到環境振動下的相位變化，再將其所計算之受到振動 相位變化，藉由PZT 即時進行補償。Li 等人(2006) 提出另一個雙光源主動式防振顯微架構[2] ， 其系統使用的雙光源為鹵素燈與超明亮發光二極體，再利用迴授控制即時控制 PZT 位移之位移 補償。Yamauchi 等人(2007)提出一種麥克森白光相移干涉顯微量測技術[3] ，其系統使用兩個光 源，一個為寬頻低同調的鹵素燈，另一個為高同調的紅外線雷射。Schmit 等人(2002)提出白光 干涉垂直掃描防振技術[4] ，利用鹵素燈與單一波長濾片來產生高同調訊號，偵測目前的振動情形。 Veeco 公司(2005)提出一個白光干涉量測專利[5] ，其系統主要是利用兩種光源來進行白光干涉垂 直掃描量測，其中利用多波長的白光光源進行量測，同時，利用單波長雷射光作為 PZT 位移的 監控依據，以即時迴授控制的方式，以改變PZT 位置來調整其光程差。 二、即時同步相移干涉技術 以即時同步方式來達到單張影像取得多重干涉條紋訊號 ，避免環境所產生的振動影響。1991 年 1 Koliopoulos 提出一種同步相移干涉儀之架構(SPSI)[6] ，系統架構都是利用