线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析.pdf

维普资讯 第 17卷 第 6期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol_17。NO．6 2005年 6月 HIGH PoW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Jun．，2005 文 章编 号 ： i00l_4322(2005)06—0866—05 线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析 沈 自才 ，孔伟金 。，邵建达 ， 范正修 (1．中国科学院 上海光学精密机械研究所 ，上海 201800； 2．中国科学院 研究生院，北京 100039) 摘 要 ： 对双源线性共蒸法制备 的非均匀薄膜折射率分布与光学特性 的关系作了探讨，并与均匀介质膜 的光学特性作了对比；从折射率正变和负变两个方面 ．讨论 了混合介质膜折射率不 同变化规律对光学性能带来 的影响 ；讨论 了厚度误差和折射率极值误差对非均匀膜光学性能的影响。结果发现 ：折射率变化规律误差主要 对非均匀膜的应用波段范 围产生影响，而膜层厚度误差和折射率极值误差超过一定值时 ，将对薄膜光学特性产 生重要影响。 关键词： 光学 薄膜 ； 非均匀； 渐变折射率 ； 共蒸法 中图分类号 ： 0484 文献标识码 ： A 渐变折射率薄膜 ，又称为非均匀膜 ，其主要特征为沿着膜层表面的法线方 向折射率连续变化 ，而在垂直于 法线的水平方 向上折射率保持不变[】]。与传统的分层介质膜相 比较 ，渐变折射率薄膜既消除了膜层 间的界面 及其带来的不稳定性 ，又极大地增加 了膜系设计 的调控度 ，可以用来满足现代薄膜光学中均匀薄膜所无法满足 的光谱特性要求 ，并有望在性能稳定性上获得较大提高。 渐变折射率薄膜 的研究与均匀膜相 比还缺乏更深入的研究。在应用上 ，目前主要研究的是增透膜、太阳能 玻璃吸收膜、啁啾介质激光镜 。和 rugate滤光片 等 ，特别是在高功率激光元件 中，高损伤阈值光学薄膜的 制备已经成为限制各种激光器件整体性能的 “瓶颈”。渐变折射率薄膜，由于消除了界面 ，可以大大提高薄膜的 抗激光损伤阈值 。 在 以前的工作 中，作者对共蒸法制备的非均匀膜 的光学特性进行了详细的讨论 。但 由于设备和控制误差 等因素的影响 ，实际制备中总是会产生一些误差 ，主要有薄膜厚度误差 、折射率变化规律误差、折射率极值误差 等。本文将对各种可能产生的误差对多周期非均匀膜光学性能带来的影响进行探讨 ，这将对制备高性能光学 薄膜如高抗激光损伤阈值 的光学滤光片具有重要指导意义 。 l 非均匀膜 的折射率分布对光谱透射率性 能的影响 在 以前的工作 中，我们假设在用双源共蒸法制备渐变折射率薄膜时 ，两种膜料 的沉积单分子大小近似相 等、沉积速率为线性变化 、总沉积速率为两种膜料的沉积速率之和且为常数 。在这些条件下，分别运用德鲁德 理论和罗伦兹一罗伦茨理论嘲对线性共蒸法制备的非均匀膜 的折射率变化规律进行 了模分析 ，得到非均匀膜的 折射率变化规律形式分别为 2—0 n()一 { (0)一 [ (O)一 (h)] ／^} (1) 1．9 f 。(O) (^) 1 ，r)、 嚣 ， 、 小 一 { —万} 1．8 式中：(O)，()和 (h)分别是膜层厚度为 0， 和 h的薄膜 的 皇 1．7 昌