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有机衬底透明导电膜的制备与特性研究！
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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有机衬底 ： 透明导电膜的制备
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与特性研究!
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郝晓涛 马 瑾 徐现刚 杨莺歌 张德恒 杨田林 马洪磊
）（山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所，济南 !$%%% ）
! ）（山东大学晶体材料国家重点实验室，济南 !$%%% ）
# ）（淄博学院数理系，淄博 !$$%%% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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常温下，采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了 ： 透明导电膜，并对薄膜的结构和光电性
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质进行了研究 制备的样品为多晶薄膜，并且保持了二氧化锡的金红石结构 性能良好的薄膜电阻率为 / #
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· ，载流子浓度为 ，霍耳迁移率是 · · 薄膜在可见光区的平均透过率达到了
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关键词：柔性衬底， ： 透明导电膜，射频磁控溅射法
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有意加热 以纯度为 的 和纯度为
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