光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理 signal process in a novel system for nano-displacement measurement based on optical lever.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.68万字
约 6页
2017-08-21 发布于上海
举报
版权申诉

光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理 signal process in a novel system for nano-displacement measurement based on optical lever.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理 signal process in a novel system for nano-displacement measurement based on optical lever

第34卷第7期光电工程 V-01．34．No．7 2007年7月 0pto—ElectronicEngineering JuIy，2007 文章编号：1003—501X(2007)07—0030—05 光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理吴宇，刘晓曼，杨国光 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027) 摘要：本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大，光学放大倍数高，该系统的理论分辨率可达4nm，实际测得静态分辨率小于lonm。信号处理采用基于高精度一维PsD的信号探测电路，并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PzT作为被测物的微小位移驱动器，与电容测微仪JDC．II所测数据进行了验证比较，系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小，结构简单，便于使用MEMs技术集成和微型化。关键词：光杠杆；纳米位移测量；PsD；信号处理中图分类号：TB851 文献标志码：A inanoVel fbr Signalprocess systemnano-displacement measurementbasedon lever Optical WU1yu，LIUXiao—min，1ANG Guo-guang 1 (口招K秒三日6D阳细秒∥^如沈mCpf泐，胁f删研Pm砌以，劢巧胁馏【历fvP昭砂，胁，移^o“30027，C话j胛口) Abstract：Inthis novel for measurementwas wasbasedonthe p印er，a systemnano-displacement described，which of leVer．The was witllseveralrenectionsthe principle optical nano—displacementampli6edcontactlessIy by parallel mi玳r SensitiVe usedas the group．PositionDetector(PSD)wasnaIlo-displacementsignaldetecting，andsigIlal circuitwas to theoreticalresolutionofthis could processing designedaccordingantqaⅡmlingprinciple．The system achieVe4nm．A usedtosimulatethe measuredresults piezoelectric仃ansducer(PZT)wasnallo-displacement．The coincidewimthedatadetectedthe that demonstrateme by c印acitiVedispl