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实验三 超声雾化热分解法制备ATO薄膜 实验名称： 超声雾化热分解法制备ATO薄膜 实验项目性质： 综合训练 所涉及课程：薄膜材料制备技术，材料科学基础 计划学时：2学时 一、实验目的 1．了解ATO薄膜的性能和应用； 2．了解超声雾化器的使用方法； 3．掌握SZT-2A四探针测试仪的原理和使用方法； 4．掌握超声雾化热分解法制备薄膜的原理和方法； 二、实验原理 在透明导电氧化物（TCO, Transparent conducting oxide）薄膜中，SnO2薄膜具有透射率、电导率高，价格便宜，热稳定性及化学稳定性好等特点，受到广泛关注。未掺杂的SnO2薄膜电导率低，通过掺杂可以改善SnO2薄膜的光电性能。锑和氟是两种最常见的掺杂剂。 SnO2:Sb薄膜（ATO, Antimony Doped Tin Oxide) 是一类新型浅色透明导电掺杂锑取代锡形成缺陷固融体时的氧空位或电子作为载流子，ATO薄膜对可视光的吸收率极弱，透明性高能有效阻止红外辐射和紫外线辐射，被应用于光电显示器件、透明电极、太阳能电池、液晶显示、催化等。ATO薄膜的方法很多，如化学气相沉积法、射频溅射法、溶胶－凝胶法、喷雾热分解法等。其中，喷雾热分解法被认为是在玻璃基板上镀制各种功能薄膜最有效的一种方法。具有设备简单，非真空沉积系统，易于操作，原料的选择范围广，能实现大面积沉积等优点而成为ATO薄膜最常用的制备技术之一。 1. 超声雾化热分解法制备ATO薄膜的原理 喷雾热分解法是将含金属离子的溶液雾化后，喷向热玻璃基板，随着溶剂的挥发，溶质在基板上反应（热分解）而形成薄膜的过程。绝大多数的喷雾热分解法制备薄膜主要发生两个过程：(1)在衬底温度很低的情况下，雾化后的小液滴还未等溶剂蒸发完就已喷溅到衬底表面，发生溶剂蒸发气化并在基板表面干燥沉积，最后溶质反应形成膜；(2)随着衬底温度的升高，小液滴在到达基板表面之前溶剂蒸发完全，固相沉积物撞击在基板表面，并反应形成膜。 SnCl4、SbCl3水溶液吸收超声波后，会分解生成以SnCl4、SbCl3和水分子为主的雾化蒸汽，向雾化杯中通载气，携带雾化的SnCl4、SbCl3和H 2O蒸汽喷洒在加热的衬底表面上，反应物在衬底表面发生热分解反应生成ATO薄膜。反应废气及未来得及沉积的反应物蒸汽由通风厨抽出。 3. 方块电阻 对任意一块均匀的，厚W，宽h，长L。 图1 薄示意图 如果电流沿着垂直于宽和厚的方向，则电阻为当时，表面成方块，的电阻称为方块电阻，记为 ，单位为 方块电阻与厚度h和电阻率有关，与方块大小无关±3℃。 开启超声雾化器的电源，使反应剂雾化。 通载气。打开氮气瓶的减压阀，通过气体流量控制计控制载气流量为100ml/min。 薄膜沉积开始，计时20min。 实验结束，依次关闭气瓶阀门、气体流量计、超声雾化器电源及电阻炉电源，使样品缓慢降至室温，用镊子取出样品。 7. 测试方块电阻 开启四探针测量仪电源，预热15分钟。μA”　“10μA” 5个工作状态。指示灯亮表示选中该项。 通过按键选择电压量程。主机面板右侧第二行三个指示灯，自左至右分别指示“2V”“200mV”　“20mV”三个电压量程。指示灯亮表示选中该项。 通过按键选择测量方式。主机面板右侧第三行三个指示灯，自左至右分别指示“电阻率”“方块电阻”“电阻”三种测量方式。指示灯亮表示选中该项。 将测试样品置。关闭四探针测量仪电源，给探针套上保护套。 电子材料与元器件专业实验指导书 4