薄膜厚度与折射律的测量.docVIP

薄膜厚度与折射律的测量 在三级实验中测量薄膜厚度与折射律的方法共介绍了两个：椭圆偏振光法和迈克尔逊方法。 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射律 思路： 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常,设介质层为n1、n2、n3,φ为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1) 介质n0 界面1 薄膜n1 衬底n2 界面2 用r1p、 r1s表示光线的p分量、s分量在界面1、2间的总反射系数, 用r2p 、r2s表示光线的p分、s分量在界面2、3间的总反射系数. 有 膜上反射的两相邻光束的相位差 定义该薄膜系统的总反射比为: 定义 和是可以用椭偏仪测量的量，的物理意义是椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统反射后发生的变化，tan是椭圆偏振光相对振幅的衰减。 而都是已知的，可通过测量和，然后通过计算机算出。 简化： 设定P轴为零点，正对光束行进方向，逆时针旋转为正，顺时针旋转为负，设定1/4波片的快轴（FA）倾斜+45度，设线偏振光的电矢量E与P轴的夹角为。则出射光为振幅为，相位差为或的等幅椭圆偏振光。 注意：等幅椭圆偏振光和圆偏振光的区别，等幅椭圆偏振光是指在P轴和S轴方向幅度相同的偏振光，圆偏振光是指在各个方向幅度都相同的偏振光。 此时有=1，故 =， 改变起偏器方位角使=0或π，这时反射光为线偏振光， 因此可以通过测量来确定，而只与反射线偏振光的电矢量振动方向有关，可通过检偏器的方位角θ来测定（θ在第一象限时，=θ，在第四象限时，= —θ）。 由此可见问题得到了大大的简化。 迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度与折射律 思路： 迈氏干涉仪产生干涉条纹的原理等效于以、为上下表面的空气层的等倾薄膜干涉。 干涉条纹的明暗决定于光程差与波长的关系，用白光照明时，只有在d=0的附近才能在M1、M’2交线处看到干涉条纹，这时对各种光的波长来说，其光程差均为（反射时附加），故产生直线黑纹，即所谓的中央条纹，两旁有对称分布的彩色条纹。d稍大时，因对各种不同波长的光，满足明暗条纹的条件不同，所产生的干涉条纹明暗互相重叠，结果就显不出条纹来。只有用白光才能判断出中央条纹，利用这一点可定出d=0的位置。 当视场中出现中央条纹之后，在M1与A之间放入折射率为n、厚度为的透明物体，则此时程差要比原来增大 因而中央条纹移出视场范围，如果将M1向A前移d，使，则中央条纹会重新出现，测出d，可由下式 若已知可求出折射率n；若已知n，可求出。 这两个实验所要测的物理量（薄膜厚度和折射律）都是不易直接测量的量，厚度如果直接用测量长度的工具（譬如千分尺）测的话，由于薄膜本身很薄，所以由仪器精确度造成的相对误差太大；折射率如果利用折射定律来测量，那么角度的测量将会成为限制精度的最大因素。 而这两个实验都进行了巧妙的转化，间接测量，大大提高了实验精度。在椭偏仪的实验中，寻找出了与、的函数关系，而、是可以通过椭偏仪精确测量的，比如θ可根据光强最小来判断，而光强可以通过光电倍增管以数字的形式显示出来，既直观又精确。在迈氏干涉仪的实验中，一方面仪器的精度比较高，另一方面实验现象比较明显（视场中央出现中央条纹），很容易确定位置，从而较精确的计算出d。 因此，在以后的学习和工作中，如果遇到要测量一个直接测起来误差很大或不易直接测量的量，可以通过间接法来测量。考虑与该物理量有联系的公式或关系，（例如这两个实验都用到了，将n，d转换为了和，进而还可以进一步转化）转化为容易精确测量的物理量的测量。