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注氮改性纯钛表面微观摩擦性能探究[摘要]##目的改变纯钛表面的成分，提高其硬度和耐磨损性能。方法对纯钛试样表面行3×1017ions·cm－2和9×1017ions·cm－2两种剂量的氮离子注入。以能量散射光谱测定分析其表面元素的改变，显微硬度仪测量其显微硬度，纳米划痕仪测量其表面的耐磨损性能，扫描电子显微镜观察其注入前后的划痕形貌。综合分析其微观摩擦学性能的改变。结果氮离子注入后，纯钛试样表面成金黄色。在注入3×1017ions·cm－2和9×1017ions·cm－2剂量的氮离子试样表面，氮元素的原子百分率分别为24.08%和35.83%。试样表面的显微硬度值提高。纯钛的摩擦系数较氮离子注入前明显降低，其中注入剂量为9×1017ions·cm－2的纯钛较剂量为3×1017ions·cm－2的纯钛摩擦系数小。结论氮离子注入可提高纯钛的硬度，改善其耐磨损性能。 [关键词]纯钛；离子注入；纳米划痕；微观摩擦学；磨损机制 [中图分类号]R 783.1[文献标志码]A[doi]10.3969/j.issn.1673-5749.2012.03.010 Nano-friction properties research of pure titanium surface by means of nitrogen plasma ion implantation techniqu