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几种任意等步进移相算法的研究 摘要移相干涉术在光学测量中有着广泛的运用。移相算法主要分为定步长移相算法和等步进移相算法。在研究移相干涉原理的基础上，对几种等步进移相算法进行了深入研究，包括carre算法、schwider算法和stoilov算法，并用matlab编程实现这些算法，通过比较计算得到的相位和模拟相位，验证了算法的正确性，并发现在引入移相误差后，schwider算法受到的影响明显小于其他两种算法，展现了其优越性。关键词光学测量移相干涉术 等步进移相算法模拟仿真12374 毕业设计说明书（论文）外文摘要 TitleResearch On Several Phase-stepping Algorithms WithAn ArbitraryStep Abstract Phase-shifting interferometry has been widely used in optical measurement.Phase-shifting algorithm is pided into a fixed-step phase-shifting algorithm and step phase-shifting algorithm. On the basis of studying the principle of phase-shifting interferometer,several step phase-shifting algorithm was in-depth studied,including the carre algorithm, schwider algorithms and stoilov algorithm,and use matlab programming this algorithm. The correctness of the algorithm was verified by comparing the calculated phase and simulation phase.While introducingthe phase-shift error, the impact of schwider algorithm is significantly smaller than the other two algorithms, and demonstrating its superiority. Keywordsoptical measurement；phase-shift interferometer； phase-stepping algorithm ； simulation 目次 1 引言1 1.1研究的背景和意义1 　在近代光学测试技术中，波面干涉仪是应用最为广泛、测量精度较高的检测仪器。为此，我们有必要对移相式数字波面干涉仪的基本原理和应用有一定的了解。 移相式数字波面干涉仪由计算机和干涉仪主机组成。干涉仪系统由5部分组成：干涉仪主机、移相器、移相器控制电源和驱动电源、计算机及外设和图像采集系统。它的工作原理是，计算机对移相器驱动电源发出指令，按设计好的时序和电压信号驱动移相器，移相器推动参考镜移动产生相位位移，干涉条纹在干涉场中产生位移，同时图像采集系统在计算机控制下对动态干涉图进行采样，采样结束后进行波面解包，最后对得到的波面进行计算，得到所需信息。 国外在移相式数字波面干涉仪这方面的工作起步早、发展快,已推出了大量应用于各种检测范围和用途的数字波面干涉仪,在国内已有较多用户。近年来国内外光学加工业不断发展,对加工元件精度的提高和市场的日益国际化,对高精度的数字波面干涉仪提出了大量的需求,推动了这方面的研制工作的进程,如浙江大学、南京理工大学、长春光机所、上海光机所、上海大学等都在这方面做了大量的工作,向市场推出了具有自主知识产权的仪器,我们南理工也有自己的相应产品。但总的来说离市场的大量需求还有很大差距,特别是需求量很大的在线检测仪器,因此还需在此方面做更多的工作,加快研制和技术转化步伐。 步进相移技术作为定量获取干涉信号相位信息的有效方法之一,已被广泛地应用于光学检测与计量中。 移相算法分为两类：一种是任意等步进移相算法；另一种为定步长移相算法。 任意步距步进相移算法则从原理上取消了对确定性步进相位的要求,它只要 求可控相位delta;等间距步进即可, 这使得任意步距步进相移算法在实用中具有极 I(x,y,t)=Id(x,y)+Ia(x,y)cos[Phi;（x,y）-delta;（t）]（2-1） 式中：Id(x,y)mdash;干涉场的直流光强分布； Ia(x,y)mdash;干涉场的交流光强分布； Phi;（x,y）mdash;被测波