改性含钪薄膜阴极的研究 study of modified scandia-tungsten coated cathode.pdfVIP

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2017-08-31 发布于上海
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改性含钪薄膜阴极的研究 study of modified scandia-tungsten coated cathode.pdf

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改性含钪薄膜阴极的研究 study of modified scandia-tungsten coated cathode

口叠透互盈塑婴翌婴 ·研究与设计· 改性含钪薄膜阴极的研究王舒墨，李季，王辉 (北京真空电子技术研究所，北京100015) Modified of CoatedCathode Study Scandia—Tungsten WANGShu-mo，LIJi，WANGHui VacuuraElectronicsResearch 10015，China) (Beijing Institute，Beijing fl modifiedmethodtOmanufacture coated Abstract：Thispresents Scandia—tungsten paper dispenser cathode．whichusestriodeDC to a filmontraditionalBaW cath— Se-eontaining sputteringdeposit dispenser offilm odewith insteadof method the de- Se6WOl2+Wtarget Sc202+Wtarget．Thissimplifiesoperation andenhancesthe and of cathodeforitneedn’tintroduce positing stabilityconsistencycoatingSc—type oxy— ortakeother oxidation the offilm also the gen complicatedtechniquesduringprocess depositing．Westudy workfunctionthis 86 current at emission and Of cathode．It A／cm2 a cathode property provides density of1000℃，whichshowsexcellentemission temperature capability． words；Sc6W012十W，Scandia，Cathode，Sputtering，Coating Key 法不需要在覆膜过程中通入氧气或采取其它的复杂氧化工艺，不仅简化了操作也提高了阴极制备的稳定性和一致性。本文研究了这种阴极的发射特性和功函数分布情况。这种阴极在1000℃时能提供86A／cm2的发射电流密度，表现出良好的发射性能。关键词：Sc6W012．钪；阴极；溅射；覆膜中图分类号：0462 文献标识码：A 文章编号：1092--8935【2012)03--0008--05 随着通讯和信息技术的高速发展，对微波真空膜沉积技术研制铳系阴极是一种方便