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TCAD范例速成指南 第1章: 简介 该指南手册针对首次应用SILVACO TCAD软件的新用户。 它旨在帮助新用户在几分钟时间内快速并成功安装和运行该软件。 该指南也演示如何快速有效查看手册，查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义。 它也参照相应章节，来理解等式以及其使用的根本规则。 关于进一步的阅读和参考，用户可参照SILVACO网站的技术支持部分， 那里有丰富的技术材料和发表文献。  第2章: 快速入门 2.1: DeckBuild运行时间环境窗口 DeckBuild是富含多样特征的运行时间环境， 它是快速熟悉SILVACO的TCAD软件的关键。 Deckbuild 主要特征包括： 自动创建输入文件、编辑现有输入文件，创建DOE，强大的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。 更重要的是，DeckBuild包含好几百个范例，涵盖多种电学、光学、磁力工艺类型，便于首次使用该工具的用户。 使用入门 用户可打开一个控制窗口，创建一个目录，用于保存该指南范例将创建的临时文件。 例如，要创建或重新部署一个名为tutorial, 的目录，在控制窗口键入： mkdir tutorial cd tutorial 然后键入下列命令开启deckbuild运行环境： deckbuild 屏幕上将出现类似于图2.1的DeckBuild运行时间环境。 GUI界面包括两部分： 上部窗口显示当前输入文件，而下部显示运行输入文件时创建的输出。 图2.1 DeckBuild 运行时间界面GUI ? 2.2: 载入和运行范例 输入文件可以由用户创建或者从范例库中加载。 为了熟悉软件语法， 最好载入第一个实例中范例。 要从deckbuild运行时间环境的GUI载入范例，可点击： Main Control... Examples(范例)... 屏幕将弹出一个窗口显示一列47个类别的范例。 图2.2显示首15个类型范例。 要查看剩余的类别，则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。 图2.2 首15个类别的DeckBuild 范例 ? 只需双击该类别，即可查看每个类别的范例。 如果双击首个类别MOS1: MOS Application Examples， 则得到如图2.3显示的列表。 该类别有15个范例。 图2.3 MOS 应用范例列表 ? 双击任何期望的范例，即可查看其解释。 双击首个范例NMOS : Id/Vgs and Threshold Voltage Extraction，可查看该范例的解释。 结果如图2.4显示。 滚动拉下窗口可浏览全部解释。 图2.4 范例描述窗口 ? 为了在DeckBuild运行环境中载入特定范例， 点击DeckBuild: Examples 窗口右上部的Load Example 按钮。 DeckBuild主窗口如图2.5显示。 图2.5 DeckBuild已载入输入文件 ? 按 下run 按钮即可运行范例。 运行完成后，屏幕出现两个图。第一个为显示仿真过程中网路掺杂的彩色轮廓图， 第二个则是简单的阈值电压Vg 相对 Id图。 它们分别为如图2.6和图2.7所示。 一旦选中Load Example 按钮， 结构文件和线图既加载在当前工作目录中，因此不必运行仿真即可浏览结果。 图2.6 显示网路掺杂的工艺仿真结构 ? 图2.7显示Vg相对Id的器件仿真线图 ? 2.3: 查看结果 SILVACO的浏览工具TonyPlot是一个功能丰富的绘图工具。 该指南中仅介绍它的某些基本性能。 当SILVACO的TCAD软件包中保存一个结构文件或一个线图时，创建结构文件或线图的所有参量将自动包含仅该文件，供绘图之用。 例如在结构文件绘图中，如果想要绘制其他变量如Donor Concentration, 则如下点击： Plot... Display... Define... Contours... 然后向下滚动选择Quantity: 方框，得到一组可绘制变量。 如果按照该顺序执行，将出现两个另外的GUI 显示， 如图所示2.8。 选择新的参量并点击Apply。 图2.8 选中可绘制变量的相关GUI ? 运行时常需要查看一个图表的cutline片断。 这时，关闭其它相关绘图相关视窗，点击OK, 然后返回主要视图和选择下列命令：Tools... Cutline... 现在将使用默认vertical cutline方框，但在cutline GUI中也可以选择水平或交叉的cutline方框。 返回主图， 在cutline起点处点击并按住鼠标左键。 竖向直拖动鼠标，到cutline终点处松开鼠标。 松开左键后，cutline图表将自动显示当前现实的参量的cutline。 完成操作后点击cutline方框上的 OK 键。 要在新cutline图上覆