highly mass-sensitive thin film plate acoustic resonators (fpar)高度mass-sensitive薄膜板声谐振器(fpar).pdfVIP

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2017-09-11 发布于上海
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highly mass-sensitive thin film plate acoustic resonators (fpar)高度mass-sensitive薄膜板声谐振器(fpar).pdf

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highly mass-sensitive thin film plate acoustic resonators (fpar)高度mass-sensitive薄膜板声谐振器(fpar)

Sensors 2011, 11, 6942-6953; doi:10.3390/s110706942 OPEN ACCESS sensors ISSN 1424-8220 /journal/sensors Article Highly Mass-Sensitive Thin Film Plate Acoustic Resonators (FPAR) 1 2 3 3 2 Lilia Arapan , Gergana Alexieva , Ivan D. Avramov , Ekaterina Radeva , Vesseline Strashilov , Ilia Katardjiev 1 and Ventsislav Yantchev 1,* 1 Department of Solid State Electronics, Uppsala University, 751 21 Uppsala, Sweden; E-Mails: liar@angstrom.uu.se (L.A.); ilia@angstrom.uu.se (I.K.) 2 Department of Solid State Physics and Microelectronics, University of Sofia, 1164 Sofia, Bulgaria; E-Mails: gerry@phys.uni-sofia.bg (G.A.); ves@phys.uni-sofia.bg (V.S.) 3 Georgy Nadjakov Institute of Solid State Physics, 1784 Sofia, Bulgaria; E-Mail: eradeva@issp.bas.bg (E.R.) * Author to whom correspondence should be addressed; E-Mail: veya@angstrom.uu.se. Received: 8 May 2011; in revised form: 8 June 2011 / Accepted: 28 June 2011 / Published: 4 July 2011 Abstract: The mass sensitivity of thin aluminum nitride (AlN) film S0 Lamb wave resonators is theoretically and experimentally studied. Theoretical predictions based on modal and finite elements method analysis are experimentally verified. Here, two-port 888 MHz synchronous FPARs are micromachined and subsequently coated with hexamethyl-disiloxane(HMDSO)-plasma-polymerized thin films of various